序号

（货物）名称

型号

制造商和产地

数量

单价(元)

小计(元)

1

1100度两路混气真空度可控CVD系统

1英寸管式炉，最高温度1100度，2路质子气体流量计，可控真空度真空泵组，数显真空计，系统极限真空度：1.0X10-4torr

合肥科晶、美国艾里卡特

1

86000

86000

2

滑轨式CVD 系统

带有预热功能的单温区滑动管式炉CVD系统；单温区炉最高温度1100度；预热炉最高温度1100度；3路质子气体流量计，精度优于1.5%；配真空泵和数显真空计

合肥科晶

1

96000

96000

3

1100度三路混气CVD系统

开启式炉体，最高温度1100度，3路质子气体流量计，精度优于1.5%；配真空泵和数显真空计

美国赛默飞世尔、美国艾里卡特

1

89400

89400

4

1100度CVD氮化硼生长系统

1100度管式炉，1路耐腐蚀型质子气体流量计，2路通用型质子气体流量计，精度优于1.5%，配真空泵和耐腐蚀数显真空计

美国赛默飞世尔、美国艾里卡特

1

90000

90000