微纳加工与器件制造平台紫外光刻机中标结果
微纳加工与器件制造平台紫外光刻机中标结果
项目名称:微纳加工与器件制造平台紫外光刻机中标结果
一、项目编号：
采招中心编号：HZ********-****
采购代理编号：0623-2081N*******
二、项目名称：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目
三、供应商投标情况：
供应商 信息名称 | 资格性 审查结果 | 符合性 审查结果 | 投标报价（元） | 综合 得分 | 推荐排名 | 是否成交候选人 |
深圳摩世达科技有限公司 | 审核通过 | 审核通过 | 98.49 | 1 | 是 | |
长沙硕德科技 有限公司 | 审核通过 | 审核通过 | 78.47 | 2 | 是 | |
湖南华图智能科技有限公司 | 审核通过 | 审核通过 | 76.80 | 3 | 是 |
四、中标信息
供应商名称：深圳摩世达科技有限公司
供应商地址：深圳市光明新区玉塘街道田寮社区同观路泰嘉乐科技工业园10楼1003单元
中标金额：*******元
五、主要标的信息
中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目 | ||||||
序号 | 项目名称 | 规格型号 | 品牌 | 产地 | 数量/单位 | 单价（元） |
1 | 主系统 | 掩膜光刻机主机硬件 | EVG | 奥地利 | 1套 | 363000 |
2 | 软件系统 | 基于Windows控制软件 | EVG | 奥地利 | 1套 | 45000 |
3 | 曝光系统 | LED紫外光源 | EVG | 奥地利 | 1套 | 589000 |
4 | 光路 | 光源光学透镜组合 | EVG | 奥地利 | 1套 | 210000 |
5 | 光强计及探头 | 光强计及光强探头 | 0AI | 美国 | 1套 | 59200 |
6 | 对准台 | 晶圆对准台 | EVG | 奥地利 | 1套 | 200000 |
7 | 顶部物镜转塔 | 转塔支持双物镜模式 | EVG | 奥地利 | 1套 | 51800 |
8 | 顶部对准系统 | 顶部物镜及CCD系统 | EVG | 奥地利 | 1套 | 280200 |
9 | 底部对准系统 | 底部物镜及CCD系统 | EVG | 奥地利 | 1套 | 147000 |
10 | 掩模版夹具 | 夹持掩模版夹具 | EVG | 奥地利 | 1套 | 96500 |
11 | 晶圆夹具 | 夹持晶圆夹具 | EVG | 奥地利 | 1套 | 97000 |
12 | 防震台 | 隔离防震桌面 | 定制 | 中国 | 1套 | 48000 |
13 | 真空泵 | 提供系统真空 | 定制 | 中国 | 1台 | 12000 |
六、评审专家名单：朱丽琴（主任评委）、尹俊文、李二平、李旭华、汪炼成（业主评委）
监委：马春德
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。投标供应商如对此公告有异议的，请于此公告发布之日起七个工作日内，以书面形式向采购人、代理机构一次性提出质疑。
八、其他补充事宜
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1、采购人信息
名称：中南大学
地址：长沙市麓山南路932号
联系人：张老师
联系方式：****-********
2、招标代理机构信息
名称：湖南省招标有限责任公司
地址：长沙市雨花区湘府东路199号招标大厦
联系人：张女士王女士
联系方式：****-********
3、项目联系方式
项目申购单位：高等研究中心
项目联系人：吴老师
联系电话：152*****109
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