电子束蒸发系统(HITBX-2021000009)成交结果公告
电子束蒸发系统(HITBX-2021000009)成交结果公告
项目名称 | 电子束蒸发系统 | 项目编号 | HITBX-********09 |
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公告开始日期 | 161*****07000 | 公告截止日期 | 161*****00000 |
采购单位 | 哈尔滨工业大学 | 付款方式 | 无 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后10个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后3个工作日内 |
预 算 | 470000.0 | ||
收货地址 | 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号,材料楼 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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电子束蒸发系统 | 1 | 套 | 无 |
品牌 | 无 |
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型号 | 无 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 470000.0 |
技术参数及配置要求 | 极限真空度:≤5×10-5 Pa;系统真空检漏漏率:≤5.0×10-7 Pa.l/S;系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,45分钟可达到6.67×10-4 Pa;系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成;1、真空室组件真空室为U型箱体活开门结构,尺寸为500 mm× 500 mm× 600 mm,四壁水道冷却,壁挂防污板,选用优质不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面进行特殊工艺抛光处理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;2、旋转基片加热台 2.1、基片尺寸:可放置4″基片;2.2、基片加热最高温度:800°C±1°C,由热电偶闭环反馈控制;2.3、基片可连续回转,转速5~60转/分,电机驱动磁耦合机构控制;2.4、基片与蒸发源之间距离300~350 mm可调,由腔外手动波纹管调节机构控制(刻度尺指示调位距离);2.5、手动控制样品挡板组件:1套;2.6、样品托(可根据客户需求定制):2个;2.7、多样品样品架(可选)3、电子枪及电源 3.1、270° E型电子枪及高压电源,电子枪功率0~8KW可调;3.2、电子枪阳极电压: 8 KV;3.3、电子束可二维扫描调节,最大扫描正负15 mm(X,Y),备有遥控盒,可手持遥控操作扫描;3.4、水冷式坩埚:四穴坩埚,每个容量约为20 ml,手动切换;单穴尺寸:Φ42mm ×Φ35 mm ×25mm(圆台型);3.5、可控制坩埚位置变化(电动控制);3.6、由电动驱动坩埚挡板;3.7、具有高压灭弧自动复位功能; 3.8、可通过石英晶体震荡膜厚仪与挡板形成联动控制;4、石英晶体振荡膜厚仪 4.1、监测膜厚显示范围:0~99微米9999 埃;4.2、厚度分辨率:1埃;4.3、速率显示分辨率:0~9999.9埃;4.4、控制精度:1埃;4.5、监测时间显示范围:1分~99小时;5、工作气路 5.1、微调阀、管路、接头等:1路;5.2、充气阀D6、管路、接头等:1路(解除真空冲氮气);5.3、200SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等:1路;6、抽气机组及阀门、管道 6.1、复合涡轮分子泵及变频控制电源:1台(抽速1200升/秒);6.2、直联机械泵:1台(抽速8升/秒);6.3、KF40电磁压差阀(GYC-JQ40):1台;6.4、分子泵与机械泵软联接金属软管:1套;6.5、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀(GDC-J40)及角阀CF35:1套;6.6、超高真空闸板阀(CC-200):1台(用于分子泵与真空室隔离);7、窗口及法兰接口部件 7.1、RF100磁力旋转观察窗挡板:1个;7.2、CF16陶瓷封接两芯引线法兰:2个(照明及内烘烤引线、备用引线);7.3、盲法兰CF16:2个;CF35:2个;8、安装机台架组件 优质铝型材接成,快卸围板表面喷塑处理;四只脚轮,可固定,可移动。9、冷水机循环机组及报警系统满足设备需求循环冷却水机组,水流连锁报警系统及水管、变通、接嘴、不锈钢球阀的等配套管路。 10、离子轰击系统 其中轰击电源:电压3000V,电流160mA。用于清洗样品表面。 |
售后服务 | 质 保 期 :1年;供货周期:4个月;1、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输;2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书;3、现场验收后,一年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费及差旅费,终身维修只核收工本费及差旅费。; |
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