电子束蒸发系统（HITBX-2021000009）成交结果公告

招 标 正 文
 

电子束蒸发系统（HITBX-2021000009）成交结果公告

项目名称电子束蒸发系统项目编号HITBX-********09
公告开始日期161*****07000公告截止日期161*****00000
采购单位哈尔滨工业大学付款方式无
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后10个工作日内到货时间要求签约后3个工作日内
预 算470000.0
收货地址黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号，材料楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
电子束蒸发系统1套无
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算470000.0
技术参数及配置要求极限真空度：≤5×10-5 Pa；系统真空检漏漏率：≤5.0×10-7 Pa.l/S；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.67×10-4 Pa；系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成；1、真空室组件真空室为U型箱体活开门结构，尺寸为500 mm× 500 mm× 600 mm，四壁水道冷却，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；2、旋转基片加热台 2.1、基片尺寸：可放置4″基片；2.2、基片加热最高温度：800°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；2.3、基片可连续回转，转速5～60转/分，电机驱动磁耦合机构控制；2.4、基片与蒸发源之间距离300～350 mm可调，由腔外手动波纹管调节机构控制（刻度尺指示调位距离）；2.5、手动控制样品挡板组件：1套；2.6、样品托（可根据客户需求定制）：2个；2.7、多样品样品架（可选）3、电子枪及电源 3.1、270° E型电子枪及高压电源，电子枪功率0～8KW可调；3.2、电子枪阳极电压： 8 KV；3.3、电子束可二维扫描调节，最大扫描正负15 mm（X，Y），备有遥控盒，可手持遥控操作扫描；3.4、水冷式坩埚：四穴坩埚，每个容量约为20 ml，手动切换；单穴尺寸：Φ42mm ×Φ35 mm ×25mm（圆台型）；3.5、可控制坩埚位置变化（电动控制）；3.6、由电动驱动坩埚挡板；3.7、具有高压灭弧自动复位功能； 3.8、可通过石英晶体震荡膜厚仪与挡板形成联动控制；4、石英晶体振荡膜厚仪 4.1、监测膜厚显示范围：0~99微米9999 埃；4.2、厚度分辨率：1埃；4.3、速率显示分辨率：0~9999.9埃；4.4、控制精度：1埃；4.5、监测时间显示范围：1分~99小时；5、工作气路 5.1、微调阀、管路、接头等：1路；5.2、充气阀D6、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；5.3、200SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等：1路；6、抽气机组及阀门、管道 6.1、复合涡轮分子泵及变频控制电源：1台（抽速1200升/秒）；6.2、直联机械泵：1台（抽速8升/秒）；6.3、KF40电磁压差阀（GYC-JQ40）：1台；6.4、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套；6.5、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀（GDC-J40）及角阀CF35：1套；6.6、超高真空闸板阀（CC-200）：1台（用于分子泵与真空室隔离）；7、窗口及法兰接口部件 7.1、RF100磁力旋转观察窗挡板：1个；7.2、CF16陶瓷封接两芯引线法兰：2个（照明及内烘烤引线、备用引线）；7.3、盲法兰CF16：2个；CF35：2个；8、安装机台架组件 优质铝型材接成，快卸围板表面喷塑处理；四只脚轮，可固定，可移动。9、冷水机循环机组及报警系统满足设备需求循环冷却水机组，水流连锁报警系统及水管、变通、接嘴、不锈钢球阀的等配套管路。 10、离子轰击系统 其中轰击电源：电压3000V,电流160mA。用于清洗样品表面。
售后服务质 保 期 :1年;供货周期:4个月;1、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；3、现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费。;

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/04/09/20KNA0AXRP3AH3CQ.shtml

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 蒸发系统 电子

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