品牌

科晶

型号

OTF-1200X

生产厂商

合肥科晶材料技术有限公司

产地信息

中国

技术规格及参数

1、辉光放电等离子体中：电子密度高 109-1012cm3，电子气体温度比普通气体分子温度高出 10-100 倍，虽环境温度在 100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应活性的中，性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜；
2、工作温度：1200℃，炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80 都可用，温度控制器：30 段高精度数字可编程温度控制器；
3、等离子射频电源：输出功率：50-500W 最大可调±1% ；
4、RF 频率：13.56MHz 的±0.005%稳定可调，噪声：≤55DB，输入功率：1KW，采用 KF25 系列波纹管和精密针阀连接，真空度可达 10-3torr，数字真空压力表可直观的显示数值；
5、内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量，气体流量范围为 0-200，误差为 0.02%，一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀。进气口：采用国际标准双卡套接头。

售后及质保要求

1.质保期：中标人提供合格代理商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【12】小时内响应，【24】小时内派员上门现场维护，并在【48】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。