品牌

沈科仪

型号

DZ360

生产厂商

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

产地信息

沈阳

技术规格及参数

1）手套箱≥1450mm，不锈钢材质，厚度≥2.5mm；
2）不锈钢制成的大舱，直径≥350mm，长度≥300mm，箱体右侧；
3）前窗带≥3个手套口；
4）丁基橡胶手套≥5只；
5）照明系统≥1套；
6）箱内电源接口≥1套；
7）KF40备用接口≥4个；
8）高性能的循环风机≥90m3/h，加装变频；
9）必须包含1套水分析仪；
10）必须包含1套氧分析仪；
11）必须包含1套加大有机溶剂吸附器；
12）必须包含1套支架脚轮；
13）必须包含1个脚踏开关 ；
14）必须包含1套净化系统；
15）极限真空度优于6x10-5Pa；从大气抽至：6x10-4Pa≤30min；真空室漏率为：关机12小时≤10Pa；（新设备空载，极限真空后关机）
16）真空室为立式方形腔体，腔体尺寸≥710mm（L）×360mm×545mm(H)。分成两个部分，下部在手套箱下底板外部，安装集成蒸发源的组件，上部在手套箱内部，安装样品台等组件。腔体采用优质冷轧304不锈钢材料与铝合金制造，氩弧焊接，表面特殊工艺；
17）样品台可容纳不锈钢蒸发基片托1个，可容纳样品最大不小于165mm x165mm；
18）样品台到蒸发源距离调节要求：范围是250mm－280mm；
19）样品台可通水冷却室温至10℃；样品台可由电机驱动Dg35磁力转轴驱动，转速连续可调；转速：5～20转/分；样品挡板：1套；
20）有机蒸发源组件≥2套，采用束源炉式加热蒸发结构，钽材质，单支石英坩埚容量≥10毫升；备用石英坩埚10支；温度控制系统采用程序控温表闭环反馈；加热炉加热温度范围：室温-800℃，连续可调，带细微调节功能，温度控制精度±0.5℃；有机束源炉蒸发源挡板：2套；有机蒸发电源：1套；
21）金属蒸发源组件≥2套，蒸发水冷电极4根：组成2个蒸发舟；金属蒸发钼舟5支；蒸发电源：1台：最大输出功率1.8Kw（电压6V；电流300A）；使用进口控温表调节电流值，可设置电流精度0.1A；蒸发源之间设有可拆卸挡板，既防止蒸发源交叉污染又方便清洗安装；
22）分子泵及变频控制电源抽速≥1200L/S；旋片真空泵≥8L/S；气动插板阀CF200、旁抽角阀DN40、隔断阀DN40、电磁压差式充气阀DN40各1台；
23）宽量程数显真空计： 1.0x105Pa---1.0x10-5Pa：2支（电阻规、电离规各1支）；电源机柜：1台；供电电源：为机械泵、真空计等提供电源，有断水报警功能：1套；电机旋转电源：1套；断水报警系统：1套；（对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施，完善的逻辑程序互锁保护系统）
24）系统采用触摸屏点动控制方式；
25）膜厚监测仪：厚度显示范围：0--99μ9999à；厚度显示分辨率：1à；速度显示范围：0—9999.9à/S；速度显示分辨率：0.1à/S；层数：0—99层；材料名称显示：200余种；包含石英晶振探头≥1只；
26）冷却水循环机：1套；制冷量：3.42KW。

售后及质保要求

1.质保期：作为制造商沈科仪提供免费质保2年。（售后服务与质保由制造商提供）
2.维修响应时间：24小时内响应，72小时内派员上门现场维护，并在120小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。售后服务联系人：韩斯丞 联系电话：186*****808/***-********