电动三维位移台中标结果
电动三维位移台中标结果
| 申购单主题： | 电动三维位移台 | 申购单位： | 电子与信息工程学院（微电子学院） | 是否含税： | 否 | 使用币种： | 人民币 |
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 电动三维位移台 | Zaber | X-LSM200A | 是 | 1 | 国内含税价/ | |||
| 规格 | X轴和Y轴： 1.最小步进（默认分辨率）：<=0.05微米； 2. 最大行程：>=200毫米； 3. 重复精度：<3微米； 4.单向精度：60微米； 5. 最大速度：26毫米/秒； 6.最小速度：0.000029毫米/秒； 7. 编码器分辨率：200 CPR; 8. 编码器类型：Rotary quadrature； 9. 峰值推力：55牛； 10: 最大中心载荷：100牛； 11. 最大悬臂荷载：300N-cm。 Z轴： 1.最小步进（默认分辨率）：<=0.1微米； 2. 最大行程：40毫米； 3. 重复精度：<1微米； 4.单向精度：35微米； 5. 10N载荷精度：20微米； 6. 最大速度：48毫米/秒； 7.最小速度：0.000058毫米/秒； 8.通信接口：RS232; 9. 峰值推力：200牛； 10: 最大中心载荷：100牛； 11. 最大悬臂荷载：300N-cm。 晶圆吸附盘： 真空晶圆吸附盘，可适配2/4/6/8英寸的晶圆。该真空吸附盘可安装在Zaber的X-LSM200A系列的XY轴位移台上。 含运保费 | |||||||
| 中标供应商 | 是否满足 | 单价 | 初选理由 | |||||
| 上海涉科光电科技有限公司 | 是 | 97000 | 最低价原则 | |||||
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