项目名称：等离子体刻蚀与化学气相沉积设备采购项目（重招）
项目编号：1175-21466GJ0226Z
招标范围：序号：1；产品名称：铌酸锂感应耦合等离子体刻蚀设备；数量：1台；简要技术规格：详见第八章 货物需求一览表及技术规格；备注：主要用于体材料、薄膜材料铌酸锂以及金属（如Cr）的刻蚀； 序号：2；产品名称：三五族(III-V)化合物半导体感应耦合等离子体刻蚀设备；数量：1台；简要技术规格：详见第八章 货物需求一览表及技术规格；备注：主要用于III-V族化合物半导体材料（如GaAs系、InP系）的刻蚀； 序号：3；产品名称：电介质反应离子刻蚀设备；数量：1台；简要技术规格：详见第八章 货物需求一览表及技术规格；备注：主要用于电介质材料（如SiO2、SiNx）的刻蚀； 序号：4；产品名称：电感耦合等离子体化学气相沉积设备；数量：1台；简要技术规格：详见第八章 货物需求一览表及技术规格；备注：主要用于高质量电介质薄膜（如SiNx、SiO2）的沉积
招标机构：广州市国科招标代理有限公司
招标人：中国科学院空天信息研究院粤港澳大湾区研究院
开标时间：2021-07-08 14:30
公示时间：2021-07-16 18:12 - 2021-07-21 23:59
中标结果公告时间：2021-07-22 16:42
中标人：SEMI？TECHNOLOGY？LIMITED
制造商：Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited trading as Oxford Instruments Plasma Technology
制造商国家或地区：英国