脉冲激光沉积腔体(GY202104332)自购结果公示

招 标 正 文
 

脉冲激光沉积腔体(GY202104332)自购结果公示

脉冲激光沉积腔体(GY********2)自购结果公示
发布时间：2021-08-19

该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商： 北京珀菲特科技有限公司
中标金额： 240000
公示开始日期2021-08-19公示截止日期2021-08-20 21:19:33
采购单位物理学院付款方式货到验收后100%付款
签约时间要求到货时间要求
收货地址山东大学光电所103
采购清单1
采购物品采购数量计量单位
脉冲激光沉积系统1台
品牌珀菲特规格型号SPLD-14
技术参数1. 腔体UHV兼容圆柱形腔体，直径400 mm，SS304材质， CF法兰口包括：观察窗法兰 1x DN 100CF, 1x DN 63CF激光入射法兰 1x DN 63CF样品台法兰 1x DN 160CF靶台法兰 1x DN 100CF分子泵抽气法兰 1x DN 160CF前级抽气法兰 1x DN 40CF，旁路抽气法兰 1x DN 40CF真空计法兰 1x DN 40CF, 1x DN16CF快开门法兰 1x DN 300CF气体通入法兰 2x DN 16CF电子枪法兰1x DN 63CF荧光屏法兰1x DN 100CF可以根据客户需求额外增加预留的法兰口抽气泵组包括中科仪FF-160/620风冷复合分子泵(600 L/s)和北仪优成TRP-24机械泵(6 L/s)及川北KF40电磁插板阀；背底真空度优于10-6 mbar（未烘烤），经过>48小时烘烤，背底真空度优于10-7 mbar；瑞士Inficon公司MPG400全量程真空计 (冷阴极/皮拉尼复合真空计，量程5X10-9 mbar-1 atm)；瑞士Inficon公司CDG025D薄膜真空计（10-4 mbar –1 mbar）；瑞士Inficon公司VGC502双通道真空计控制器；铝型材支架，所有电控部件集成在支架上；腔室内配有托盘和筛网，防止样品、靶材掉落损坏分子泵；300W机架式水冷机；2. 靶台4个2寸靶位；每个靶位都在自转，自转速度0-50 RPM可调，并通过公转切换选靶；靶位自转、公转均采用步进电机控制；国产CF16磁耦合旋转直通机构；3. 压力控制韩国DK-LOK截止阀、国产质量流量计及控制器；1路工艺O2，用于样品生长，通过流量计精确控制进气量；1路旁路O2，回充主腔室，用于样品高温氧化或退火；1路放气N2，用于系统破真空；腔室和分子泵之间通过手动闸板阀隔离；腔室和分子泵之间配有旁抽气路，可以用角阀手动调节腔室氧压；4. 激光光路英国TSL公司CF63石英入射窗口1个2寸，焦距f=500 mm聚焦透镜及其支架透镜组件支撑架2个2寸，45°角反射镜及其支架1个2寸，22.5°角反射镜及其支架1个能量衰减器，可调范围10%-90%2个固定尺寸光阑铝型材光路支架5. 控制系统所有电气控制盒都集成在铝型材框架内；PLD控制软件及配套电脑；样品升降温、靶台自转/公转、准分子激光器外触发等均可以通过软件实现控制；客户订购的德国 Surface 公司加热器与系统配装， 我司负责整体调试和操作培训6. 其他交货期: 合同签订后4个月质保期: 到货后1个月或验收后起算12个月， 二者以先到为准售后服务：质保期后终身免费维护，更换零部件只收取成本费
售后服务服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后48小时;


资产与实验室管理部


2021-08-19


联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 腔体 脉冲激光沉积

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