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1

光学元件面形精度及表面质量测试方法

350mm直径单晶硅透镜测试支撑平台设计、测试方案设计、测试数据收集分析与处理。表征两垂直方向横截面面形误差、圆周全域面形误差、表面粗糙度。

50mm单晶硅衍射透镜晶硅透镜测试支撑平台设计、测试方案设计、测试数据收集分析与处理。表征两垂直方向横截面面形误差、全域面形误差、结构倾斜误差、结构成型面表面粗糙度。

其中面形精度检测依据GB/T2831-2009《光学零件的面形偏差》、表面粗糙度检测依据GB/T1031-2009《产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值》进行分析检测。

提供相关技术报告和指导

1

80000

2

光学元件激光烧蚀加工试验

提供相关技术报告和指导

1

40000

3

光学元件亚表层损伤层厚度及损伤形态测试

开展单晶硅FIB制样(取5个位置)；利用横截面TEM观察其亚表层原子排列(普通型及加强型TEM,标尺5nm)，标定非晶层厚度，测量整体损伤层厚度。利用X射线衍射仪标定表层物质变化规律及成形表面残余应力。

提供相关技术报告和指导

78000

合计（元）

198000