货物名称

X射线光电子谱和二次中性粒子质谱联合系统

数量

1套

单价（万元）

600

成交金额（万元）

600

单一来源供应商

德国SPECS公司

采购需求

1. 设备基本配置：

(1) 光电子谱仪系统，包括：

超高真空高μ金属腔体；半球型电子能量分析器；完备的超高真空和差分抽气系统；液氮制冷/电子束加热四维样品操作台；单色化X射线源；真空紫外光源；离子溅射源；配套电源；控制系统及软件系统；附件（包括标准样品、工具及其相关耗材）。

(2) 二次中性粒子质谱系统，包括：

超高真空腔体；ECWR等离子源；高分辨四极质谱仪；液氮制冷/电阻加热三维样品操作台；配套电源；控制系统及软件系统；附件（包括标准样品、工具及其相关耗材）。

(3) 样品引入系统等，包括：

快速进样室；包括真空抽气和测量系统；电源柜；水冷机组；分区烘烤装置等。

2. 工作环境：

满足中国国内电网标准（380V及220伏电压，50赫兹）

3. 性能指标要求

第一部分：光电子谱仪系统

（1）高μ金属腔体，样品处残余磁场各方向不大于0.5μ Tesla；

（2）超高真空系统：分析室本底真空不高于5.0x10-8 Pascal；

（3）半球型电子分析器，平均半径不小于100mm，配备多通道探测器；

（4）配备Al Kα单色化X射线源，XPS谱数据采集和分析软件包（含数据库）；

最佳能量分辨和灵敏度：能量分辨0.50eV（Ag3d5/2峰FWHM）时计数率不小于75kcps；

（5）配备UV光源及其进气系统，UPS谱数据采集和分析软件包（含数据库），包含差分抽气系统，

能量分辨和灵敏度：使用HeI线Ag费米边20%～80%不低于95 meV时Ag 4d计数率不低于1Mcps；

（6）配备离子溅射源及其进气系统，ISS谱数据采集和分析软件包（含数据库），包含差分抽气系统，最大离子动能可以达到5keV，最小束斑125μm，扫描范围10 mm X 10 mm，

能量分辨和灵敏度：使用2keV动能He+时，Ag峰FHWM 40eV时记数不低于1.2Mcps；

（7）配备四轴液氮样品架，样品温度范围100K至800°C，样品转动范围为极角±180°，可安放至少4个样品台，样品台直径不小于20 mm；

（8） 包含样品观察定位设备。

第二部分：二次中性粒子质谱系统

（9）超高真空系统：本底真空均不高于5.0x10-8 Pascal；

（10）ECWR等离子源：最大功率不小于600W，初级离子电流稳定度 < 2%/h，Si样品溅射速率0.1nm/s到100nm/s，包含DBM和HFM双模式；

（11）四极质谱仪：质量分辨范围0-340amu，背景记数不大于10cps，最佳探测能力5cps/ppm，探测极限1ppm；

（12）三轴样品架：样品温度范围150K至500°C，可安放至少5个样品台，样品台直径不小于20 mm，单个样品直径最大允许值不小于25mm；

（13）多种规格钽制样品掩模(2、4、6、8、10、12、14、16、18、20mm)。

第三部分：样品引入系统及其它配套设备

（14）快速进样室，包含真空抽气系统，本底真空不高于5.0x10-6 Pascal；

（15）样品可以传输至光电子谱腔和二次中性粒子质谱腔，超高真空闸板阀隔离各腔室；

（16）配备足够的电源柜；

（17）配备足够的水冷机组；

（18）配备光电子谱腔和二次中性粒子质谱腔分区烘烤及其控制单元；

（19）静音除湿机两台（格力DH40EB或同档次以上，水箱容量不小于6升，支持连续排水，噪音小于44dB）；

（20）大3匹变频冷暖型柜式空调两台（格力KFR-72LW/（72520）FNAbc-3（B）或同档次以上）、3匹单冷挂式空调一台（格力（GREE）KF-72GWK(72356)A1-N1或同档次以上）。

（21）工作台一张（长约1500mm，宽约750mm，高约760mm）；

（22）控制计算机一台，DELL Precision T3600或同档次以上（Intel Xeon E5-1603 CPU，4GB内存，500G硬盘，正版Windows XP或更高版本操作系统，两台不小于22"液晶显示器）；

（23）离线数据处理计算机一台，DELL Precision T3600或同档次以上（Intel Xeon E5-1603 CPU，4GB内存，500G硬盘，正版Windows XP或更高版本操作系统，不小于22"液晶显示器）。

（24）除了控制计算机，离线处理计算机上也必须安装本系统相关的数据处理和分析软件的副本，以提高系统的使用效率。

（25）配备系统运行所需的高纯氩气（Ar）和氮气（N2）各3瓶（纯度99.999%，40L/瓶），符合系统对气体压力调节要求的Ar气减压阀和N2气减压阀各1个。

交货期：签订合同后8个月内