原子层沉积系统(JJ2021002942)成交结果公告

原子层沉积系统(JJ2021002942)成交结果公告

项目名称原子层沉积系统项目编号JJ********42
公告开始日期163*****58000公告截止日期163*****00000
采购单位南开大学付款方式合同签定生效后,预付合同总额的 40%;货物到达需方指定地点并安装验收合格,双方签字确认后,七个工作日内支付合同总额的 60%余款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求到货时间要求合同签定生效后3个工作日内
预 算
收货地址南开大学津南校区信息西楼619
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
原子层沉积系统1
品牌纳峰
型号NCE-200R
品牌2
型号
品牌3
型号
预算
技术参数及配置要求1)8英寸反应腔体,腔体高度6mm;2)基底加热温度至350度;3)5路完全独立的反前驱体洁净管路,其中2路为加热管路,可加热至250度,3路为室温使用管路。(管路可后续升级,最多可达7条完全独立前驱体管路)ALD阀门为全进口洁净阀;4)智能前驱体分散装置一套;5)洁净惰性载气(N2或Ar)管路,含高精度气体质量流量计(MFC) 6)进口压力传感器,检测范围:1000 至 5*10-4 Torr;7)系统控制硬件设施一套,系统控制软件一套。
售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。

信息来源:https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/10/19/20KUXUP2MNMX44I7.shtml

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 沉积系统 原子层

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