特气供气和尾气处理系统(GY202106610)自购结果公示
特气供气和尾气处理系统(GY202106610)自购结果公示
| 供应商： | 上海祥竺电子科技有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | 469000 |
| 公示开始日期 | 2021-10-28 | 公示截止日期 | 2021-10-29 18:49:42 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 新一代半导体材料研究院 | 付款方式 | 预付50%，货到30%，验收后支付15%，验收合格后6个月5%。 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 特殊气体供气和尾气处理系统 | 1 | 套 |
| 品牌 | 茂竺 | 规格型号 | MS-HS0086 MS-WSP050 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1、HCL+NO 供气系统1.1 GAS CABINET HCL +NO 特气柜：HCL+NO双瓶供气，半自动控制，具有抽真空功能，高低压排放，高精度颗粒过滤，高低压显示，氮气吹扫，气路如图,美国进口耐腐蚀专用调压阀，配2台进口HONEYWELL侦测器（另计费）。具有侦测漏气第一时间关断阀门，并发出声光报警。具有紧急关断按钮和远程关断预留接入位置。VCR系统，EP管阀件。供气气体双出口。1套;1.2气柜电箱 1套;1.3 GAS DETECTOR 侦测器 2个;1.4管道：1/4"EP, Ra<=0.25μm，SS316l，56米；1.5管道：1/2"BA, SS316l 12米;1.6 VCR 接头：1/4" VCR ,EP，12个；1.7 VCR垫片：1/4" ,EP，SS316L20个;1.8 VCR 接头：1/2" VCR ,EP，1个；1.9 VCR垫片：1/2" ,EP，SS316L 1个1.10 包含气体柜到设备的全部管道：HCL1路接到ICP设备，另外预留2路。NO 一路接到氧化炉，另外预留1路。二、SiH4+C3H6 供气系统2.1GAS CABINET SIH4+C3H6特气柜，SIH4+C3H6双瓶供气，半自动控制，具有抽真空功能，高低压排放，高精度颗粒过滤，高低压显示，氮气吹扫，气路如图,美国进口调压阀，配2 台进口HONEYWELL侦测器（另计费）。具有侦测漏气第一时间关断阀门，并发出声光报警。具有紧急关断按钮和远程关断预留接入位置。VCR系统，EP管阀件。1套;2.2 气柜电箱 1套;2.3 GAS DETECTOR 侦测器2个。2.4 包含必需的管道、接头、垫片、阀门等。三、SICL4+NH3 供气系统3.1 GAS CABINET HCL +NO 特气柜：SICL4+NH3双瓶供气，半自动控制，具有抽真空功能，高低压排放，高精度颗粒过滤，高低压显示，氮气吹扫，气路如图,美国进口耐腐蚀专用调压阀，配2台进口HONEYWELL侦测器（另计费）。具有侦测漏气第一时间关断阀门，并发出声光报警。具有紧急关断按钮和远程关断预留接入位置。VCR系统，EP管阀件。供气气体双出口。1套;3.2气柜电箱 1套；3.3 GAS DETECTOR 侦测器 2个；3.4 钢瓶电子秤 150kg，235*235毫米,给SICL4用。1台。3.5 包含必需的管道、接头、垫片、阀门等。四，SF6，CF4,O2，PN2特气供气面板4.1供气面板SF6，CF4：具有减压及高低压力显示，0.003微米过滤，VCR系统，EP级别，预留排放口，含钢瓶固定支架和钢瓶接口，气路如图。增加低压排放阀门，2台；4.2供气面板O2：具有减压及高低压力显示，0.003微米过滤，VCR系统，EP级别，预留排放口，含钢瓶固定支架和钢瓶接口，气路如图。1台；4.3供气面板PURGE N2：为HCL+NO特气柜提供吹扫及测试氮气。具有减压及高低压力显示，0.003微米过滤，VCR系统，EP级别，预留排放口，含钢瓶固定支架和钢瓶接口，气路如图。1套；4.4管道：1/4"EP, Ra<=0.25μm，SS316l，72米；4.5管道：1/2"BA, SS316l 4米；4.6管道：1/4"BA, SS316l 12米；4.7 Tee三通：1/2",SS316L,BA 1只；4.8 Tee三通：1/4",SS316L,BA 3只；4.9 Tee三通：1/4",SS316L,EP 8套；4.10隔膜阀：1/4",VCR,SS316L,EP，SF6排放气路用，1只；4.11隔膜阀：1/4",VCR,SS316L,EP，O2气路用，3只；4.12 FITTINGVCR接头：1/4" VCR ,EP，30个；4.13 Gasket VCR垫片：1/4" ,EP，SS316L，50个；4.14 软管：6毫米，50米；4.15三通：6毫米快插，5个；4.16球阀：1/4",1000PSI，2个；4.17适配接头：5个；4.18气柜外壳：柜体，75*55*185厘米，喷漆，2台。4.19 包含必需的管道、接头、垫片、阀门等，包含气体柜到设备的全部管道。五、N2，Ar，H2 2台设备（氧化炉，ICP）的气体二次配（从墙上阀门引到设备上）5.1 Tube管道：1/4"EP, Ra<=0.25μm，SS316l 24米；5.2 FITTING VCR接头：1/4" VCR ,EP 12个；5.3 Gasket VCR垫片：1/4" ,EP，SS316L 20个。六、电热式尾气处理系统（LPCVD用）6.1 燃烧&水淋式尾气处理HEAT SCRUBBER：电热&水淋尾气处理，半自动控制，MS-HS0086，温燃烧裂解易燃易爆及有害特气。技术参数见附件，配循环水系统。已通过SEMI S2安全认证 1台；6.2 泵到尾气处理排放管道：DN40，含波纹管及KF接头等（3-5米范围内）。一套LPCVD排放管道SS304材质的 1项；6.3 尾气处理到后级酸碱排管道：DN100，PVC，距离3-5米范围内。负压管道需要200-250帕负压 1项；6.4 尾气处理水电气二次配：3-5米范围内 1项。七、水洗式尾气处理系统7.1 水洗式尾气处理WET SCRUBBER：水洗式，MS-WSP050,半自动式.已通过SEMI S2安全认证 1台；7.2 泵到尾气处理排放管道：DN40，PVC，含波纹管及KF接头等（3-5米范围内），一套ICP排放管道PVC材质的。一套氧化炉设备泵排放管道PVC材质 2项；7.3 尾气处理到后级酸碱排管道：DN100，PVC，距离3-5米范围内。负压管道需要200-250帕负压 1项；7.4 尾气处理水电气二次配：3-5米范围内 1项。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:外地;质保期限:2年;响应期限:报修后2小时;耗材不保修; | ||
资产与实验室管理部
2021-10-28
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