Mist-CVD(GY202107333)自购结果公示
Mist-CVD(GY202107333)自购结果公示
| 供应商： | 山东晶升电子科技有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | 103000 |
| 公示开始日期 | 2021-11-11 | 公示截止日期 | 2021-11-12 17:39:08 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 晶体材料研究所 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学晶体材料研究所 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 立式Mist-CVD | 1 | 台 |
| 品牌 | 山东晶升 | 规格型号 | CVD-70 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1、最高温度800℃，使用温度600度，升温速率最大10℃/min2、三段加热，恒温区长度150mm3、恒温区控温精度±1℃4、石英尺寸内径70mm,壁厚4mm,外径78mm,长度800mm5、上升降摇轮滚珠丝杠400mm6、上提拉摇轮滚珠丝杠150mm最大7、下摇轮升降行程400mm8、石英管两端胶圈密封9、两路MFC进气：10、N2/O2：750mL/min11、氮气：3L/min12、12 源罐材质：源管体积150ml供电3相5线制、380V 50Hz、5Kw，波动范围：小于±6％，配置多路接线插座； | ||
| 售后服务 | 服务网点:不限;质保期限:3年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2021-11-11
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