品牌

非标定制

型号

非标定制

生产厂商

北京印刷学院

产地信息

北京市

技术规格及参数

1、用途：响应。本套设备采用感应耦合等离子体作为辅助技术，用原子层沉积的方法制备薄膜。
2、电力供应：响应。市电220V（±10%），设备总功率6kW，连接电线长度3米。
3、工作环境：响应。设备能在招标所列的环境条件下正常工作。
4、主要技术参数要求：全部响应，部分指标优于要求。
4.1薄膜沉积腔：外径80±0.2、长650～800的专用优质石英管1根，薄膜沉积区域长度350，316不锈钢材质的基片台，基片台尺寸≥Φ65×350。配合肥科晶公司的开启式管式炉1台，型号OTF-1200X，功率3kW，温控范围从室温+10℃～1200℃，加热宽度400mm，控温精度±1.5℃。进样端口配宽口快开式不锈钢法兰1套。
4.2真空系统：配北京北仪优成的真空泵1台，型号TRP-12，抽速3L/sec，极限压力0.1Pa。配成都睿宝的高精度数字真空计1台，型号RBP-101/KF10-16，测量范围0.05Pa～100kPa，0.5-3000Pa范围内的读数准确度可达读数的±30%。配KF25高密封气动充气阀1个，配KF25气动挡板阀1个。
4.3气路系统：采用316L材质1/4’不锈钢管，内抛光，接口均为VCR卡套密封。北京七星华创公司的高精度气体质量流量控制计1台，型号D07-7，量程400sccm，控制精度为量程的±1%。配高速Swagelok ALD专用气动阀至少1个，最短吸合时间10ms，适合高温，耐腐蚀。配Swagelok ALD专用手动阀至少1个，适合高温，耐腐蚀。配韩国产ALD专用气动阀至少1个，最短吸合时间为50 ms，适合高温，耐腐蚀。配K型热电偶至少1个，配保温电热带1套。
4.4物料系统：100mL单体瓶4个，316L不锈钢材质，接口VCR金属密封，有载气携带通道。上海力辰公司的电热鼓风干燥箱1台，型号101-1BS，功率1.5kW，不锈钢内胆，控温范围从室温+5℃～300℃，温度波动±1℃。
4.5等离子体放电系统：南京苏曼公司的等离子体电源1台，型号CTP-2000K，输出电压0～30kV，输出功率500W，中心频率10kHz，频率可调范围10kHz±30％。ICP结构的4匝Φ80线圈1套，放电区域≥350mm。
4.6控制系统：配PLC触摸屏控制系统1套，预装自动工艺控制软件，具备工艺参数实时监控显示功能，有系统互锁和设备急停功能，软件皆为自行开发或外购正版软件。
5、整套设备的主要组件：合肥科晶公司的管式加热炉沉积腔系统1套，上海力辰公司的电热鼓风干燥箱1台，北京北仪优成公司的真空泵及配套阀门管件1套，316L不锈钢为主体的气路及物料系统1套，南京苏曼公司的等离子体电源及放电线圈1套，PLC触摸屏自动控制系统1套。
以上组件或零部件皆为全新、未使用过的原装合格正品，软件皆为正版。

售后及质保要求

全部响应。
1.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
2.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【8】小时内响应，【72】小时内派员上门现场维护，并在【120】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。