薄膜制备蒸镀系统(HQU-JJ21366)成交结果公告

薄膜制备蒸镀系统(HQU-JJ21366)成交结果公告

项目名称薄膜制备蒸镀系统项目编号HQU-JJ21366
公告开始日期163*****64000公告截止日期163*****00000
采购单位华侨大学付款方式货到验收付款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7个工作日内到货时间要求签约后50个工作日内
预 算150000.0
收货地址华侨大学(厦门校区)
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
薄膜制备蒸镀系统1电工器材
品牌武汉普迪
型号PD-400
品牌2
型号
品牌3
型号
预算150000.0
技术参数及配置要求真空室?304 L不锈钢方形真空室,内部电抛光,真空室直径约宽400深400 mm高450 mm,立式前后开门结构。?前门导轨采用双导轨设计,避免右侧导轨伸出到手套箱一侧,节省手套箱空间的同时外观更协调;手动锁紧。后门采用手动铰链结构,扣紧密封操作简单。系统提供不锈钢内衬,内衬为多片结构,方便拆卸安装。?真空室侧部连接主阀门和分子泵,真空测量接口。顶部安装样品台、样品台挡板预留加热器热电偶接口。底板安装金属蒸发电极4组,有机蒸发源2组,膜厚仪探头接口3个。2个CF35标准法兰口预留在合适位置。?真空室前门上1个带挡板的直径4英寸观察窗;配备防污玻璃;后门2个小观察窗分别观察源和样品,配防污玻璃。?集成的一体电控部分位于设备和手套箱下方。系统带万向轮和地脚,方便移动。蒸发源及电源2组金属蒸发源铜电极水冷;1台金属蒸发电源,电源可分别切换2组蒸发;电源功率2.4 KW4个束源式有机蒸发源,配备束源式有机蒸发电源2套,带日本导电温控仪精确控温。工件架(自转、水冷)设备配有自转电动工件盘,一次性放置最大不超过100*100 mm样品一片,一次放置15*15 mm样品20个。配备水冷功能。高扭矩电机和控制器,转速0~30 RPM可调主控系统控制开关,转速转速检测并显示气动挡板。系统自动控制西门子PLC+7寸触摸屏触摸屏手自动控制;可输入速率及终厚,PID调节自动控制蒸发电源输出。控制内容:机械泵,分子泵,气动、电磁阀门、真空计等等;自动抽真空、自动镀膜、自动排气等等。完整的互锁保护(硬件、软件互锁),在手动和自动模式下,设备处于完整互锁保护下,保障人员和设备安全,另外系统配备水流检测报警装置;膜厚仪配备进口SQC310水冷晶振探头1支。高分辨率: ±0.03Hz (5-6 MHz),0.0136 ? /测量(铝)最高精度: ±0.5%厚度+1计数测量速度: 100 mS~1 S/次可设置测量范围: 500,000 ? (铝)标准传感器晶体: 6 MHz.
售后服务

信息来源:https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/11/17/20KW2U5EX0SYC7IE.shtml

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 薄膜

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