薄膜制备蒸镀系统(HQU-JJ21366)成交结果公告
薄膜制备蒸镀系统(HQU-JJ21366)成交结果公告
项目名称 | 薄膜制备蒸镀系统 | 项目编号 | HQU-JJ21366 |
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公告开始日期 | 163*****64000 | 公告截止日期 | 163*****00000 |
采购单位 | 华侨大学 | 付款方式 | 货到验收付款 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后50个工作日内 |
预 算 | 150000.0 | ||
收货地址 | 华侨大学(厦门校区) | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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薄膜制备蒸镀系统 | 1 | 台 | 电工器材 |
品牌 | 武汉普迪 |
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型号 | PD-400 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 150000.0 |
技术参数及配置要求 | 真空室?304 L不锈钢方形真空室,内部电抛光,真空室直径约宽400深400 mm高450 mm,立式前后开门结构。?前门导轨采用双导轨设计,避免右侧导轨伸出到手套箱一侧,节省手套箱空间的同时外观更协调;手动锁紧。后门采用手动铰链结构,扣紧密封操作简单。系统提供不锈钢内衬,内衬为多片结构,方便拆卸安装。?真空室侧部连接主阀门和分子泵,真空测量接口。顶部安装样品台、样品台挡板预留加热器热电偶接口。底板安装金属蒸发电极4组,有机蒸发源2组,膜厚仪探头接口3个。2个CF35标准法兰口预留在合适位置。?真空室前门上1个带挡板的直径4英寸观察窗;配备防污玻璃;后门2个小观察窗分别观察源和样品,配防污玻璃。?集成的一体电控部分位于设备和手套箱下方。系统带万向轮和地脚,方便移动。蒸发源及电源2组金属蒸发源铜电极水冷;1台金属蒸发电源,电源可分别切换2组蒸发;电源功率2.4 KW4个束源式有机蒸发源,配备束源式有机蒸发电源2套,带日本导电温控仪精确控温。工件架(自转、水冷)设备配有自转电动工件盘,一次性放置最大不超过100*100 mm样品一片,一次放置15*15 mm样品20个。配备水冷功能。高扭矩电机和控制器,转速0~30 RPM可调主控系统控制开关,转速转速检测并显示气动挡板。系统自动控制西门子PLC+7寸触摸屏触摸屏手自动控制;可输入速率及终厚,PID调节自动控制蒸发电源输出。控制内容:机械泵,分子泵,气动、电磁阀门、真空计等等;自动抽真空、自动镀膜、自动排气等等。完整的互锁保护(硬件、软件互锁),在手动和自动模式下,设备处于完整互锁保护下,保障人员和设备安全,另外系统配备水流检测报警装置;膜厚仪配备进口SQC310水冷晶振探头1支。高分辨率: ±0.03Hz (5-6 MHz),0.0136 ? /测量(铝)最高精度: ±0.5%厚度+1计数测量速度: 100 mS~1 S/次可设置测量范围: 500,000 ? (铝)标准传感器晶体: 6 MHz. |
售后服务 | 无 |
标签: 薄膜
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