膜厚测量仪(GY202107846)自购结果公示
膜厚测量仪(GY202107846)自购结果公示
| 供应商： | 昆山胜泽光电科技有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | 99000 |
| 公示开始日期 | 2021-11-19 | 公示截止日期 | 2021-11-20 07:53:38 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 新一代半导体材料研究院 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 膜厚测量仪 | 1 | 台 |
| 品牌 | 胜泽光电 | 规格型号 | A3-SR-200L |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 测试模式：反射光谱范围：250-950nm测量范围：2nm-100um膜厚测量重复性：2nm（Si上SiO2测量）手动载物台尺寸大于200mm*200mm，移动范围大于等于150mm*150mm样品种类：光刻胶、氧化物、氮化物、增透膜、滤光膜、a-Si, n+-a-Si, Gate-SiNx, MgO, AlQ3 , ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide 等 | ||
| 售后服务 | 服务网点:不限;质保期限:2年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2021-11-19
标签: 测量仪
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