原子层沉积系统（JJ2021000011）成交结果公告

招 标 正 文
 

原子层沉积系统（JJ2021000011）成交结果公告

项目名称原子层沉积系统项目编号JJ********11
公告开始日期163*****80000公告截止日期163*****00000
采购单位清源创新实验室付款方式货到验收付款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后10个工作日内到货时间要求签约后45个工作日内
预 算400000.0
收货地址泉港校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
原子层沉积系统1台办公软件
品牌纳膜原子层沉积
型号D100-4882
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算400000.0
技术参数及配置要求1.*全抛光一体式不锈钢反应器1.1 反应器内径为150毫米，满足基片尺寸4英寸要求；1.2 反应器采用浇铸电阻丝进行加热并导热，便于进行温度均匀性调控，加热温度：室温~400 oC，控制精度±0.1 oC；1.3 反应器盖子采用双层设计，并填充保温层，增加温度稳定性和均匀性；2.*不锈钢管路2.1 不锈钢载气管路、前体管路和尾气管路； 2.2 前体管路配置4路源，每路采用美国世伟洛克耐高温、高速专用阀门；2.3 配备进口VCR接口、不锈钢原料瓶和2个进口VCR接口隔膜阀，用于易燃易爆前体；2.4 配置4个加热套，对进气管路和3路源进行加热，可加热至200 oC，精度±0.1 oC，升温速度可控。选用耐高温VCR接口大通径球阀，避免粉末前体堵塞管路；3.*沉积厚度均匀性偏差：< +/- 1%（以三甲基铝和水为前体沉积Al2O3为参考，沉积温度150oC）；4.*臭氧系统配置高浓度臭氧发生器、O2/O3气体管路和精密数字流量计，控制精度±0.1 sccm,臭氧产量最高可达5 g/h，另外，配置缓冲瓶装置以保证重复性；5.温控系统采用厦门宇电8通道高精度PID温控系统，且采用固体继电器控温，节能高效，温控精度±0.1 oC；6.*气动控制采用8通道德国费斯托集成高速阀岛，其中1路用于控制尾阀、4路用于控制前体源（最大可扩展至7路源）； 7.采用临海谭氏真空泵（型号2XZ-4C），抽速4L/s，极限压力可达到6×10-4 mbar，配备KF快接接口，方便装卸；配油雾过滤器，用于吸附过量的反应物并保护真空泵；8.*工作压力为1毫巴以上，通过程序控制载气流量，宽范围可调；9.电源需求为常规单相220 V动力电源，设备总功耗小于3000瓦；设置有停电保护功能和漏电保护功能；10.*高度集成的控制系统软件10.1 本设备由电脑控制（非PLC方式）。方便程序升级、更新、沉积工艺加载和保存;10.2 沉积软件采用高度集成整合界面，可在同一界面方便的对沉积参数进行控制;10.3程序自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、沉积线路等，利于长久保存、方便查询及故障检查；10.4 Closed type和Flow type两种模式可选：程序可任选两种模式中的一种，一键设定，方便可选；10.5 沉积序列设置方便，可交替循环，实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的沉积;10.6 程序设计有最高气压限制、温度范围限定，可防止CVD反应。主要配置1）原子层沉积系统主机 一台2）全抛光一体式不锈钢反应器 一套3）不锈钢进料系统 一套4）8通道阀岛集成气动控制系统一套5）8通道高精度PID温控系统一套6）真空泵系统一套7）高浓度精密臭氧系统一套8）笔记本电脑控制系统一套
售后服务商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/12/02/20KWOFTV6JSVJ43T.shtml

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 沉积系统 原子层

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