高真空薄膜生长系统(GY202108779)自购结果公示
高真空薄膜生长系统(GY202108779)自购结果公示
| 供应商： | 北京安泰可科技有限公司 |
|---|---|
| 中标金额： | 320000 |
| 公示开始日期 | 2021-12-04 | 公示截止日期 | 2021-12-05 20:33:06 |
|---|---|---|---|
| 采购单位 | 物理学院 | 付款方式 | 合同签订后预付50%，发货前支付40%，到货安装调试稳定运行2个月后支付10% |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 收货地址 | 山东大学环境楼411 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 高真空薄膜生长系统 | 1 | 台 |
| 品牌 | 安泰可 | 规格型号 | ATK-6B400 |
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1、真空室腔体（溅射室）： 1 套1) 外形： 304 优质不锈钢圆柱型前开门真空室腔体 1 套（内部尺寸φ 400*450mm 暂定， 氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封）（通过烘烤照明灯管可实现内烘烤 100～150℃） 前门配 DN100 视窗 1 套；2) 底部： 2 英寸磁控靶接口 3 套， 1200L/S 分子泵接口 1 套， CF25 照明接口 2 套；3) 顶部：样品台接口 1 套，电动挡板接口 1 套；4) 左侧： CF35 气动预抽角阀接口 1 套， KF16 气动放气阀接口 1 套。2、 磁控溅射系统： 1 套1) 磁控靶： 2 英寸永磁靶 6 套； （甲方提供）2) 磁控靶电源： 射频电源（500W） 1 台， 直流电源（500W） 3 台；3) 溅距： 靶与样品距离 40～80mm 可调（根据客户要求），并有调位距离指示；4) 隔离： 靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染。3、样品台系统： 1 套1) 可升降，可旋转（采用步进电机联动，转速 0～40 转／分连续可调）；2) 加热，室温-800° （耐氧 20Pa）3) 托架：样品托架 4 寸（根据客户要求调节）；4) 溅射距： 可手动升降， 样片与靶材间距 40-80mm（根据客户要求调节）；5) 挡板： 样品托架气动挡板。4、真空泵机组（溅射室）： 1 套1) 1200L/S 风冷分子泵 1 台；2) 8L/S 旋片泵 1 台；3) CF200 高真空电动插板阀 1 台；4) CF35 高真空气动挡板阀 1 台；5) KF16 高真空气动挡板阀 1 台；6) KF40 高真空电磁截止阀 1 台；7) KF40 泵阀连接软管 2 套， KF40 三通 1 套；8) 复合真空计 1 台5、配气系统： 1 套1) 200ml/s 质量流量控制器 3 套；2) φ 6 电磁截止阀 3 套；3) φ 6 不锈钢管路 1 套；4) 可实现两路工艺气体（Ar， N2,O2）流量控制；5) 压力控制采用下游压力控制，通过真空计和 PID 控制器精确控制气压；6、设备机架： 1 套1) 80 铝型材机架 1 套， 表面喷塑；2) 3 英寸万向轮 4 件， 移动调整；3) M16 地脚 4 件，锁紧定位；7、电控系统： 1 套（电气控制采用机架内置）1) 样品台以及其挡板控制电源： 1 台；2) 样品台加热电源： 1 台3) 射频电源（500W）： 1 台；4) 直流电源（500W）： 3 台；5) 磁控靶挡板电源： 1 台；6) 烘烤照明电源： 1 台；7) PLC 控制器（10 寸彩色触摸屏）： 1 台；8) 总控制电源（含机械泵电源等）： 1 台。8、其他技术参数：1) 缺相保护、误操作保护等功能；2) 供电：～220V 两相供电系统（峰值 6KW）；3) 供水： 小型冷水机， 冷却水温度 5℃～35℃，工作环境温度： 10℃～40℃；4) 供气：小型空压机，提供 0.2-0.3MPa 气压，驱动真空气动阀；5) 极限真空： 6× 10-5Pa（经过烘烤除气后），大气至 6× 10-4Pa 时间小于 40 分钟（短时间暴露大气并充干燥氮气），关机 12 小时真空度≤10Pa6)公司负责将镀膜系统与实验室现有手套箱连接，连接密封良好，且确保在手套箱中可以进行样品和靶材更换。 | ||
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时; | ||
资产与实验室管理部
2021-12-04
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