低气压磁控溅射镀膜机（JJ2021004039）成交结果公告

招 标 正 文
 

低气压磁控溅射镀膜机（JJ2021004039）成交结果公告

项目名称低气压磁控溅射镀膜机项目编号JJ********39
公告开始日期163*****53000公告截止日期163*****00000
采购单位南开大学付款方式合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求合同签定生效后3个工作日内
预 算无
收货地址南开大学津南校区信息西楼619
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
低气压磁控溅射镀膜机1台无
品牌普迪真空
型号PD400C
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算无
技术参数及配置要求（1）真空室1、 304不锈钢真空室，尺寸约为400mm（宽）× 400mm（深）× 380mm（高），内部抛光；2、真空室前开门，门上带有一个80mm观察窗，观察窗带挡板，防辐射；3、底部3个法兰，用于安装靶枪及挡板转轴；4、 真空室侧壁及底部有备用法兰接口以备将来使用；5、可拆卸不锈钢内衬；手拧拆卸方便清理。6、 设备带支撑地脚和滚轮；（2）真空系统1、采用“分子泵+机械泵”真空系统，气动阀门；2、分子泵：FF-200/1200C(高转速），抽速：1200 L/S；3、机械泵：型号：BSV-30（三相）抽速：9L/S；4、真空阀门：型号：DN40mm挡板阀 2套；气动主阀DN200 1套；可调限流阀 1套。5、真空测量： 2低1高数显复合真空计一套，含真空规管。6、真空密封：临时静密封采用氟橡胶圈密封；半永久式静密封采用无氧铜密封。（3）气体控制3路进气，采用Horiba Metron（中日合资）流量计控制进气，流量计最大流量分别为200/100/20sccm，3路气体经过流量计后混合，混合后导入真空室靶面；（4）溅射靶枪（低气压溅射靶枪）3个普迪真空公司3英寸圆形靶枪，杆状安装，共焦向上溅射：a)靶枪和工件距离60-120mm电动可调节；b)每个靶枪带一个独立的电控气动挡板；c)兼容直流和射频；（5）直流电源 1个北京持恒动力公司500W直流电源：a)最大输出功率500W，最高输出电压800V；b)输出采用功率控制模式；c)硬件互锁保护（真空度，真空室门，冷却水等）；（6）偏压加热工件台直径4英寸工件台：a)转速0-25RPM可调节；b)转轴磁流体密封；c)样品台可加偏压；配备偏压电源1台；d)样品台加热温度500℃；导电温控仪控温；e)配备气动样品台挡板；f)样品台可电动升降调节靶基距，调节距离60mm;（7）控制系统1、西门子PLC+触摸屏手自动控制系统；2、控制内容：机械泵，分子泵，气动、电磁阀门、流量计等等；自动抽真空，自动镀膜、自动停泵等等。3、完整的互锁保护（硬件、软件互锁），在手动和自动模式下，设备处于完整互锁保护下。
售后服务按国家法定或行业要求提供售后服务。

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/12/06/20KWU8A9SI84Z879.shtml

标签: 磁控溅射 镀膜机 低气压

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