透射电镜样品杆等离子清洗仪采购（GY202108666）成交结果公告

招 标 正 文
 

透射电镜样品杆等离子清洗仪采购（GY202108666）成交结果公告

项目名称透射电镜样品杆等离子清洗仪采购项目编号GY********6
公告开始日期163*****91000公告截止日期163*****00000
采购单位山东大学付款方式货到验收合格后付款
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7个工作日内到货时间要求签订合同后两个月内
预 算350000.0
收货地址山东大学
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
透射电镜样品杆等离子清洗仪1套其他特种设备
品牌速普
型号SPC150
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算350000.0
技术参数及配置要求品牌: 速普型号：SPC150等离子清洗仪主机：1.泵组：进口品牌涡轮分子泵+无油隔膜泵2.分子泵入口法兰：DN 63 ISO -K （标准）3.★分子泵抽速：＞85 L/s （N2）4.前级泵抽速：＞0.7m3/h5.★极限真空：<3*10-6 Torr6.★清洗启停周期：<300 s7.TEM样品杆配件：适用于FEI、JOEL等品牌样品杆可选8.★样品腔室尺寸：不小于100*100*80 mm，等离子清洗强弱分区设置；可以放置不少于2路TEM holder9.★等离子体清洗源：远程RF射频源原理10.清洗电源功率：13.56 MHz RF电源，5-50W可调11.★清洗气体控制：标配3路MFC流量计控制，可以外接如Ar或O2或H2等清洗气体12.真空规：进口品牌全量程复合规13.★操作方式：触摸屏控制，工艺菜单，控制系统提供互锁保护功能14.重量：约30Kg15.尺寸：不大于600mm宽*500mm深*450mm高16.电源：220V AC，50/60Hz 接地三脚插头17.功耗：<500W18.冷却方式：风冷真空存储附件：1.真空泵组：德国Pfeiffer无油隔膜泵；2.泵组抽速：＞0.7 m3/h；3.极限真空：＜300 Pa；4.★存储气压：400-1000 Pa；5.抽空时间：＜3 min；6.真空测量：大气压到1 Pa；进口品牌皮拉尼真空计；7.★存储样品杆数量：Max. 5支TEM样品杆，FEI，JEOL，Hitachi可选；8.★操作方式：触摸屏控制；9.功耗：＜200 W；10.冷却方式：风冷。以上设备需提供两年质保，并且负责上门安装调试。
售后服务服务网点:不限;质保期限:2年;响应期限:报修后48小时;

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/12/08/20KWWYP9KYPBNAQQ.shtml

标签: 等离子清洗 透射电镜

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