重庆邮电大学超短强激光微纳制造科研平台-磁控溅射镀膜仪结果公告[2019-07-1515:06:54]-采招网

重庆邮电大学超短强激光微纳制造科研平台-磁控溅射镀膜仪结果公告[2019-07-1515:06:54]

中标
重庆
发布：2019-07-15
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招标正文

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重庆邮电大学超短强激光微纳制造科研平台-磁控溅射镀膜仪结果公告[2019-07-1515:06:54]

重庆邮电大学超短强激光微纳制造科研平台-磁控溅射镀膜仪结果公告

(询价编号：173*****84863745)

按照网上询价成交原则，现将采购结果公示如下：

包1

预算合计：￥280,000.00元

教学专用仪器配置要求：高真空镀膜仪德国徕卡ACE 600主要功能：通过金属溅射方式，可对样品表面进行均匀的金属镀膜，实现非导电样品的导电处理，适宜于SEM观察；通过碳丝蒸发镀膜，可对样品表面进行蒸镀均匀的碳膜，实现非导电样品的导电处理，适宜于SEM观察及能谱/波谱分析，或者为铜网表面覆碳支持膜。主要参数：1.操作参数：1.1 溅射电流：0－150mA，可调。1.2 溅射时间：1－1800秒，可调1.3 镀膜终止：可按时间终止；也可根据设定膜厚镀膜过程。1.4工作时气压：Ar, 约1×10－2mbar，工作前真空度需达到5×10－5mbar1.5 工作气体：高纯氩气2. 控制系统2.1 控制器：内置式触摸屏控制面板，2.2 镀膜过程控制：自动镀膜3. 镀膜仪功能3.1 镀膜靶源采用倾角式设计，配置旋转样品台，可使镀膜最均匀。3.2 金属溅射镀膜靶材：金/银/铂金/钨/铜/镍/钛/铝各1块，硅1盒（10片）：金/银/钨/铜/镍/钛/铝各1块为德国徕卡产品，铂金和硅1盒（10片）为国产。 3.3 带有石英膜厚监控器，可根据设定膜厚自动终止镀膜，实现镀膜厚度的精确控制。控制精度0.1nm，范围0-1000nm。3.4 带有氩气灌洗功能，以去除管路中残留气体，保证样品室内无污染3.5 带有预溅射功能，金属靶带有挡板保护4. 样品室4.1 样品室内径：不小于宽200 × 深150 × 高180 mm4.2 工作距离：30－100mm4.3 工作台控制：马达驱动旋转样品台，4.4工作台：标准工作台：104mm，可插入25个SEM样品座5. 真空系统5.1全无油真空系统：隔膜泵×1+分子泵×15.2 最优真空度：≤2x10-6mbar6 系统维护与清洁：样品室舱门、样品室内壁金属保护罩、镀膜挡板、靶材、样品台都可简易拆卸，清洁。成交商品品牌：德国徕卡成交商品型号：ACE600
采购人预算(单价):￥280,000.00	数量:1(件)	小计(元):￥280,000.00

报价供应商数量：3

采购结果：成交

成交供应商：四川宏胜杰机电设备有限公司

报价时间：2019-07-15 10:03:44

成交金额：￥279,700.00

资质附件：

成交结果说明：

备注：推荐供应商排名，排序优先级为：供应商报价金额更低＞报价时间更早