曝光机维修及更换配件、洁净室暖通设备维修及更换配件(二次竞价)中标结果

曝光机维修及更换配件、洁净室暖通设备维修及更换配件(二次竞价)中标结果


截标时间:2014-6-20 14:49:02

评定时间:2014-6-20 15:18:25

申购单位

 材料科学与工程学院

产品编号

1

 设备名称

 曝光机维修及更换配件

 规格/型号

 EVG/6200NT

 保 修

 1年

 数量

 1套

 成交单价

 75000 (元)

 品牌和厂家

 

 成交供应商

 岱美仪器技术服务(上海)有限公司[信用评价积分:0]

 具体要求

 1、曝光光源老化,需要维修更换,更换后需同时进行光路调校,使其均匀性达到150mm wafer范围内4%均匀度,200mm wafer范围内5%均匀度;2、调校基片支架和掩模板支架,使其完全水平,基片和掩模板间距在0-300um可调;3、对设备气缸、套刻运动机构进行清洁、更换润滑油;4、对显微镜、平行光源等光学系统进行清洁;5、对热电偶、光强探测器等系统进行校正。

产品编号

2

 设备名称

 洁净室暖通设备维修及更换配件

 规格/型号

 TFT平板显示技术研发中心

 保 修

 1年

 数量

 1套

 成交单价

 81750 (元)

 品牌和厂家

 

 成交供应商

 广东明量工程有限公司[信用评价积分:0]

 具体要求

 1、螺杆式冷水机压缩机异响,厂家拆解检查结果为阴转子轴承磨损,需维修更换;2、对冷却水、冷冻水循环泵进行清洁、检修维护;3、对冷水机进行清洁、维护、检修;4、对洁净空调系统进行清洁、维护、检修。

供货、服务及合同签定要求:
1、提供货物必须原装原厂新货品,同时按照学校合同样本签定合同;2、涉及的服务内容必须按照竞价需求提供;3、供应商必须在看到该成交公示,同时联系用户单位确认(须签定合同的项目应与用户单位签定合同)后,才可以组织相关备货工作。





参与报价供应商数:2

截标时间:2014-6-20 14:49:02

评定时间:2014-6-20 15:18:25

申购单位

 材料科学与工程学院

产品编号

1

 设备名称

 曝光机维修及更换配件

 规格/型号

 EVG/6200NT

 保 修

 1年

 数量

 1套

 成交单价

 75000 (元)

 品牌和厂家

 

 成交供应商

 岱美仪器技术服务(上海)有限公司[信用评价积分:0]

 具体要求

 1、曝光光源老化,需要维修更换,更换后需同时进行光路调校,使其均匀性达到150mm wafer范围内4%均匀度,200mm wafer范围内5%均匀度;2、调校基片支架和掩模板支架,使其完全水平,基片和掩模板间距在0-300um可调;3、对设备气缸、套刻运动机构进行清洁、更换润滑油;4、对显微镜、平行光源等光学系统进行清洁;5、对热电偶、光强探测器等系统进行校正。

产品编号

2

 设备名称

 洁净室暖通设备维修及更换配件

 规格/型号

 TFT平板显示技术研发中心

 保 修

 1年

 数量

 1套

 成交单价

 81750 (元)

 品牌和厂家

 

 成交供应商

 广东明量工程有限公司[信用评价积分:0]

 具体要求

 1、螺杆式冷水机压缩机异响,厂家拆解检查结果为阴转子轴承磨损,需维修更换;2、对冷却水、冷冻水循环泵进行清洁、检修维护;3、对冷水机进行清洁、维护、检修;4、对洁净空调系统进行清洁、维护、检修。

供货、服务及合同签定要求:
1、提供货物必须原装原厂新货品,同时按照学校合同样本签定合同;2、涉及的服务内容必须按照竞价需求提供;3、供应商必须在看到该成交公示,同时联系用户单位确认(须签定合同的项目应与用户单位签定合同)后,才可以组织相关备货工作。




联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

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