曝光机维修及更换配件、洁净室暖通设备维修及更换配件(二次竞价)中标结果
曝光机维修及更换配件、洁净室暖通设备维修及更换配件(二次竞价)中标结果
申购单位 | 材料科学与工程学院 | |||
产品编号 1 | 设备名称 | 曝光机维修及更换配件 | ||
规格/型号 | EVG/6200NT | 保 修 | 1年 | |
数量 | 1套 | 成交单价 | 75000 (元) | |
品牌和厂家 | 成交供应商 | 岱美仪器技术服务(上海)有限公司[信用评价积分:0] | ||
具体要求 | 1、曝光光源老化,需要维修更换,更换后需同时进行光路调校,使其均匀性达到150mm wafer范围内4%均匀度,200mm wafer范围内5%均匀度;2、调校基片支架和掩模板支架,使其完全水平,基片和掩模板间距在0-300um可调;3、对设备气缸、套刻运动机构进行清洁、更换润滑油;4、对显微镜、平行光源等光学系统进行清洁;5、对热电偶、光强探测器等系统进行校正。 | |||
产品编号 2 | 设备名称 | 洁净室暖通设备维修及更换配件 | ||
规格/型号 | TFT平板显示技术研发中心 | 保 修 | 1年 | |
数量 | 1套 | 成交单价 | 81750 (元) | |
品牌和厂家 | 成交供应商 | 广东明量工程有限公司[信用评价积分:0] | ||
具体要求 | 1、螺杆式冷水机压缩机异响,厂家拆解检查结果为阴转子轴承磨损,需维修更换;2、对冷却水、冷冻水循环泵进行清洁、检修维护;3、对冷水机进行清洁、维护、检修;4、对洁净空调系统进行清洁、维护、检修。 | |||
供货、服务及合同签定要求: | 1、提供货物必须原装原厂新货品,同时按照学校合同样本签定合同;2、涉及的服务内容必须按照竞价需求提供;3、供应商必须在看到该成交公示,同时联系用户单位确认(须签定合同的项目应与用户单位签定合同)后,才可以组织相关备货工作。 |
参与报价供应商数:2 | 截标时间:2014-6-20 14:49:02 | 评定时间:2014-6-20 15:18:25 |
申购单位 | 材料科学与工程学院 | |||
产品编号 1 | 设备名称 | 曝光机维修及更换配件 | ||
规格/型号 | EVG/6200NT | 保 修 | 1年 | |
数量 | 1套 | 成交单价 | 75000 (元) | |
品牌和厂家 | 成交供应商 | 岱美仪器技术服务(上海)有限公司[信用评价积分:0] | ||
具体要求 | 1、曝光光源老化,需要维修更换,更换后需同时进行光路调校,使其均匀性达到150mm wafer范围内4%均匀度,200mm wafer范围内5%均匀度;2、调校基片支架和掩模板支架,使其完全水平,基片和掩模板间距在0-300um可调;3、对设备气缸、套刻运动机构进行清洁、更换润滑油;4、对显微镜、平行光源等光学系统进行清洁;5、对热电偶、光强探测器等系统进行校正。 | |||
产品编号 2 | 设备名称 | 洁净室暖通设备维修及更换配件 | ||
规格/型号 | TFT平板显示技术研发中心 | 保 修 | 1年 | |
数量 | 1套 | 成交单价 | 81750 (元) | |
品牌和厂家 | 成交供应商 | 广东明量工程有限公司[信用评价积分:0] | ||
具体要求 | 1、螺杆式冷水机压缩机异响,厂家拆解检查结果为阴转子轴承磨损,需维修更换;2、对冷却水、冷冻水循环泵进行清洁、检修维护;3、对冷水机进行清洁、维护、检修;4、对洁净空调系统进行清洁、维护、检修。 | |||
供货、服务及合同签定要求: | 1、提供货物必须原装原厂新货品,同时按照学校合同样本签定合同;2、涉及的服务内容必须按照竞价需求提供;3、供应商必须在看到该成交公示,同时联系用户单位确认(须签定合同的项目应与用户单位签定合同)后,才可以组织相关备货工作。 |
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