接触式探针轮廓仪（ZBZXJJ20220118）成交结果公告

招 标 正 文
 

接触式探针轮廓仪（ZBZXJJ20220118）成交结果公告

项目名称接触式探针轮廓仪项目编号ZBZXJJ********
公告开始日期165*****63000公告截止日期165*****00000
采购单位四川大学付款方式进口设备：甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后，将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户，项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后，按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。国产设备：甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项，乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求成交后90个工作日内
预 算******.0
收货地址一环路南一段24号四川大学望江校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
接触式探针轮廓仪1台电工器材
品牌Bruker
型号Dektak-XT
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算******.0
技术参数及配置要求1、仪器功能及用途：主要应用于4-6英寸晶圆的薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量。2、技术指标和性能要求：★2.1产品规格：晶圆尺寸，支持100-150mm。2.2测试工艺★2.21垂直分辨率：1 ？（在6.5um范围内，以2um半径探针验收。）★2.22测试高度方向的重复性：1σ≤4 ？）（1σ在1μm标准台阶样品上，使用半径2μm探针，重复测量30次验收）。★2.23设备核心传感器：电感传感器或者采用成熟的LVDT传感器原理3、硬件指标：3.1样品台3.11尺寸：4-8寸可选。3.12XY行程：100mm*100mm。3.13扫描长度：50μm-55mm。3.14最大扫描数据点：******个。3.15扫描速度：1μm -1500μm/s。3.2探针侦测系统3.21探针压力范围：1mg-15mg可调。3.22垂直测量范围：可达1mm。★3.23探针校准：设备可通过校准治具自行完成校准。★3.3光学系统：310万像素真彩高清光学CCD摄像头，可放大倍率3.4软件3.41自动台阶检测软件：自动水平调整，自动检测台阶，自动测量台阶高度和多重台阶数据综合对比。3.42应力测试软件：应力测试功能。4、主要配置要求 4.1 主机基本配置4.1.1 处理器： 64位双核并行处理器；4.1.2 CPU内存4G，硬盘500G；4.1.3 操作系统：windows 10或以上；4.1.4具备存储功能及数据导出功能。4.2 显示系统23＂（或以上）LCD显示器4.3 设备附属备件4.3.1校准件一个，含校正证书；4.3.2半径2um探针1根；*4.3.3探针快速更换配件；4.4 安全性*设备各种安全互锁功能完善，包括但不限于漏电保护功能、漏水保护功能、腔体过温保护功能等。4.5 动力要求设备高度：不超过2.8米；电力模式要求：三相五线制，3Ф208V50HZ/3Ф380V50HZ;单项三线制，220V50HZ/110V50HZ;主机工艺冷却水：（PCW）压力不超过7kg/cm2 。进水温度在19±2℃；压缩空气：压力不超过115psi。真空负压：不超过-7.5bar。4.5其他要求设备厂商应明确设备其他特殊需求，如环境、振动、噪声、接地等，建议配置减震台。
售后服务服务年限:12月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1. 投标方提供的设备质保期为1年。质保期起始于设备完成调试验收。损坏的质保备件造成的设备无法使用，该备件的质保期顺延，不包含探针。2. 质保期内，设备关键部件损坏更换连续2次以上，视同设备存在质量问题，用户保留追诉的权利，不包含探针。3. 质保期内，设备厂商负责非易耗品及非易损件的提供以及人力的开支。4. 维修响应时间质保期内，设备如有故障，要求供应商24小时内电话响应，如有必要，72小时内到达现场解决问题。5. 软件升级所有测试软件为原厂正版，终身软件免费升级;

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/04/21/20L28IDWQUA9VS06.shtml

标签: 轮廓仪 探针 接触

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