项目名称：深紫外穆勒矩阵椭偏仪

采购单位：化工学院

采购方式：询价

成交单位：武汉颐光科技有限公司

成交价格：******元

购买数量：1套

产品型号：SE-VM-L(190-1000nm)

评审日期：2022年5月9日

主要技术参数：

1.测量能力：Mueller matrix 16个元素、Psi/Delta（Delta：-90-270°，360°无死角）等偏振信息、反射率R/透射率T、退偏指数Depolarization等光谱

2.光谱范围：370-1700nm，双CCD探测器，无光纤外接设计

3.测量时间：单点测量不超过10秒

4.光斑尺寸：大光斑模式2-4mm

5.▲微光斑：200μm，支持消透明衬底背反测量

6.可视化调平系统：支持样件台可视化辅助对准调平（内嵌软件设计，一键唤醒调用）

7.※光强调节方式：基于样件反射信号自适应调整积分时间实现最佳光强信号探测 ，支持实时打印积分时间、采集帧数。自动调节光强，不需要通过手动调节光斑控制

8.▲调制技术：超级消色差双旋转补偿器PCr1SCr2A调制技术，更多表征偏振量+精度

9.入射角范围：45-90°(5度步进，定位精准度0.02°)

10.样品台：支持Z向，俯仰可调，支持样件尺寸到Ф200mm，支持样件真空吸附固定

11.※膜厚重复精度：＜0.0035nm （100nm SiO2/Si ,30 repeats,1σ）

12.折射率重复精度：＜0.0002nm （@632.8nm，100nm SiO2/Si , 30 repeats,1σ）

13.▲偏振精度：穆勒矩阵优于：对角元素m=1±0.005， 非对角元素m=0±0.005（测量空气，90%满足）

14. ※褪偏精度Depolarization：＜±0.5%（Si wafer，全波段90%满足）

15. ※分析软件：支持周期性纳米光栅建模+16个穆勒矩阵偏振元素建模仿真与分析功能;

内置多达数百种的光学材料常数数据库，并支持用户自定义光学材料库；具备多层各向同性/异性光学薄膜建模分析能力

16. 测控分析电脑：CPU：≥双核心处理器，RAM：≥8G，ROM：≥1024G，显示器：≥19寸， windows操作系统

公示时间：2022.5.10-2022.5.16，如有异议请拨打********向王伟老师反映。