(AXF202200424)300W射频等离子磁控溅射镀膜仪分散采购结果公告
(AXF202200424)300W射频等离子磁控溅射镀膜仪分散采购结果公告
一、项目信息
项目名称：300W射频等离子磁控溅射镀膜仪
管理部门：实验室建设与设备管理处
项目编码：AXF*********
采购方式：自行采购
二、采购单位信息
采购单位名称：西南大学
采购单位地址：重庆市北碚区天生路2号
联系人：於思瑜
三、成交信息
成交日期：2022-05-26
成交金额：*****.00元(人民币)
成交供应商：重庆励迈科仪科技贸易有限公司
供应商联系地址：重庆市渝中区虎歇路77号升伟，中环广场1号写字楼17-9
四、采购小组成员名单
张浩，耿豪杰，刘社田
五、项目用途及合同履行日期
项目用途：科研
合同履行日期：2022-05-26
六、主要标的信息
| 序号 | 品目 | 商品名称 | 数量 | 计量单位 | 单价 | 型号/规格 | 详细参数 | 是否进口 | 品牌 | 产地 | 生产厂商 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 金属喷涂设备 | 300W射频等离子磁控溅射镀膜仪 | 1 | 台 | 93,000 | VTC-2RF | VTC-2RF是一款小型的射频（RF）等离子体磁控溅射镀膜仪系统，系统中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF电源、2\"的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。输入电源：220VAC 50/60Hz, 单相；等离子源：一个300W，13.5MHz的射频电源安装在移动柜内；磁控溅射头：一个 2英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接，靶材尺寸: 直径为50mm,最大厚度6.35mm，一个快速挡板安装在法兰上，溅射头所需冷却水：流速10L/min（仪器中配有一台流速为16L/min的循环水冷机）；真空腔体：真空腔体：160 mm OD x 150 mm ID x250mm H，采用高纯石英制作，密封法兰:直径为165 mm .采用金属铝制作，采用硅胶密封圈密封一个不锈钢网罩住整个石英腔体，以屏蔽等离子体，真空度：10-3 Torr（采用双极旋片真空泵）；载样台：载样台可旋转（为了制膜更加均匀）并可加热，载样台尺寸：直径50mm （最大可放置2英寸的基片），旋转速度：1 - 20 rpm，样品的最高加热温度为700℃，(短期使用，恒温不超过30分钟)，通常使用温度500℃，控温精度+/- 10℃；真空泵：TRP-12；外形尺寸：540 mm L×540 mm W×1100 mm H。 | 否 | 合肥科晶 | 中国 | 合肥科晶 |
|
招标
|
- 关注我们可获得更多采购需求 |
关注 |
最近搜索
无
热门搜索
无
