手套箱高真空蒸发镀膜机复合系统(GY202201698)自购结果公示

招 标 正 文
 

手套箱高真空蒸发镀膜机复合系统(GY202201698)自购结果公示

手套箱高真空蒸发镀膜机复合系统(GY*********)自购结果公示
发布时间：2022-06-01

该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商： 北京泰科诺科技有限公司
中标金额： ******
公示开始日期2022-06-01公示截止日期2022-06-02 14:25:14
采购单位物理学院付款方式货到验收合格后付款
签约时间要求到货时间要求
收货地址山东大学光电所102
采购清单1
采购物品采购数量计量单位
手套箱高真空蒸发镀膜机复合系统1台
品牌北京泰科诺规格型号ZHDS400
技术参数1.有机/金属镀膜室镀膜室尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304 不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠；2.真空系统复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高”数显复合真空计；3.真空指标极限真空：优于6.0×10-5Pa；(设备和手套箱连接，设备空载抽真空24 小时内)抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa≤20min；(设备和手套箱连接，设备空载)设备升压率：≤0.8Pa/h；设备保压：停泵12 小时候后，设备真空度≤10Pa；4.基片台抽屉式结构，承载最大小于160mm×160mm 基片； 配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20 转/分钟可调；手动升降，升降基片台可调节范围70mm；根据用户要求定制掩膜板2 套；5.基片台加热/水冷加热温度：室温～300℃；冷却温度：20～30℃；（冷却循环水温度）6.蒸发源①金属源：水冷铜电极4 组；逆变式蒸发电源：功率3000W；2 台；②有机源：控温有机蒸发源（最高温度600°），2 组；有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：2 套（独立PID 智能温控蒸发）；③蒸发源配气动挡板及源间防污隔板；7.膜厚控制系统配SQC-310 膜厚仪1 台，探头2 支，1 支探头控制1 台蒸发电源及其对应对蒸发源的蒸发速率。在线测量镀膜过程中膜厚变化，根据实时膜厚和镀膜速率自动调整蒸发源电源功率，保证镀膜过程接近匀速稳定，可调节蒸发速率0-100 ？/s,测量周期0.1-1s可调，速率显示0.01？/s，厚度分辨率0.1？.（此膜厚仪不具备多源共蒸的功能）8.控制方式采用PLC+触摸屏半自动控制；9.报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。
售后服务服务网点:当地;质保期限:3年;响应期限:报修后24小时;


资产与实验室管理部


2022-06-01


联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 蒸发镀膜 手套箱 真空

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