表面化学催化剂制备系统（JJ2022000044）成交结果公告
表面化学催化剂制备系统（JJ2022000044）成交结果公告
| 项目名称 | 表面化学催化剂制备系统 | 项目编号 | JJ********** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 165*****21000 | 公告截止日期 | 165*****00000 |
| 采购单位 | 福州大学 | 付款方式 | 无 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后30个工作日内 | 到货时间要求 | 内贸：合同签订后30个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 福州大学旗山校区泉港楼北102 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 表面化学催化剂制备系统 | 1 | 台 | 其他仪器 |
| 品牌 | 中国重庆诺图科技有限公司 |
|---|---|
| 型号 | D100-4882 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1、采用不锈钢设备框架，抗指纹不锈钢，钢板厚度大于1.8 mm2、全抛光一体式不锈钢反应器1.1、反应器内径≥150毫米，满足基片尺寸≥4英寸要求；1.2、反应器采用浇铸电阻丝进行加热并导热，便于进行温度均匀性调控，加热温度：室温~400 ℃，控制精度±0.1 ℃；1.3、反应器盖子采用双层设计，并填充保温层，增加温度稳定性和均匀性。3、不锈钢管路3.1、配备不锈钢载气管路、前体管路和尾气管路；*3.2、前体管路配置4路源，每路采用进口耐高温、高速专用电磁阀门，工作压力范围：真空～10.0bar，工作温度：0～200℃；3.3、配备VCR接口、不锈钢原料瓶和2个VCR接口隔膜阀，用于易燃易爆前体；3.4、配置4个加热套，对进气管路和3路源进行加热，加热温度范围0~200 ℃，精度±0.1 ℃。配备耐高温VCR接口大通径球阀，避免粉末前体堵塞管路。*4、沉积厚度均匀性偏差：< +/- 1%（以三甲基铝和水为前体沉积Al2O3为参考，沉积温度150 ℃）；*5、臭氧系统配置高浓度臭氧发生器、O2/O3气体管路和精密数字流量计，控制精度±0.3 sccm，臭氧产量大于6g/h，另外，配置重复性良好装置；6、温控系统采用8通道高精度PID温控系统，且采用固体继电器控温，节能高效，温控精度±0.1 ℃；*7、气动控制采用进口8通道集成高速阀岛，其中1路用于控制尾阀、4路用于控制前体源（最大可扩展至7路源），工作压力范围：－0.9～10.0 bar；8、采用高速机械真空泵，抽速≥3L/s，极限压力≤9×10-3 mbar，配备KF快接接口，方便装卸；配油雾过滤器，用于吸附过量的反应物；9、工作压力≥1mbar，通过程序控制载气流量，宽范围可调，控制精度为±1Pa；10、设备总功耗小于3000W，且设置有停电保护功能和漏电保护功能；11、高度集成的控制系统软件11.1、设备由电脑控制。方便程序升级、更新、沉积工艺加载和保存；11.2、沉积软件采用高度集成整合界面，可在同一界面方便地对沉积参数进行控制；11.3、程序自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、沉积线路等，并可长久保存；*11.4、 配备Close type和Flow type两种模式，程序可任选两种模式中的一种，一键设定；*11.5、沉积序列设置方便，可交替循环，并能实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的沉积；11.6、程序设计有最高气压限制、温度范围限定，防止CVD反应。 |
| 售后服务 | 质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:国内;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;备用机:48小时内无法排除故障，免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务，维修过程只收取配件费，且以最优惠价格提供;暂无; |
标签: 化学
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