项目名称：晶圆湿制程设备招标项目
招标项目编号：0817-224GXYLZB002
招标范围：序号产品名称数量简要技术规格备注1全自动显影机1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供显影制程用2全自动金蚀刻机1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供金蚀刻制程用3全自动钛钨蚀刻机1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供钛钨蚀刻制程用4全自动光刻胶清洗机1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供光刻胶清洗制程用5全自动晶圆清洗机1套晶圆晶舟:12” 晶舟目的:本设备使用12”专用晶舟,提供晶圆清洗制程用6手动零件清洗机1套目的:本设备提供凸块制程零件清洗制程用7供酸设备1套药水种类:显影液8供酸设备1套药水种类:双氧水9供酸设备1套药水种类:去光刻胶液10供酸设备1套药水种类:金蚀刻液
招标机构：云之龙咨询集团有限公司
招标人：广西华芯振邦半导体有限公司
开标时间：2022-06-16 15:00
公示开始时间：2022-06-26 17:18
评标公示截止时间：2022-06-30 23:59
中标候选人名单：