原子层沉积系统（JJ220298）成交结果公告
原子层沉积系统（JJ220298）成交结果公告
| 项目名称 | 原子层沉积系统 | 项目编号 | JJ****** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 165*****91000 | 公告截止日期 | 165*****00000 |
| 采购单位 | 内蒙古大学 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后90个工作日内 | 到货时间要求 | 签订合同后90个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 内蒙古呼和浩特市玉泉区内蒙古大学南校区 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | 1 | 台 | 其他仪器 |
| 品牌 | 元于科技 |
|---|---|
| 型号 | YT-ALD150 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1．反应腔304或316 不锈钢。可以生长最大6 英寸样品的腔体。基底加热温度RT-400℃可控，控制精度±1℃。惰性气体保护的双O-Ring高温密封系统，隔绝其他气体渗漏。腔体烘烤温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。反应腔内具有可拆卸更换内衬以方便维护。2．沉积模式包括至少以下3种工作模式：高速沉积的连续模式，沉积超高宽深比结构的停流模式，等离子体增强模式。3．前驱体源输运系统共6路前驱体源，1路为常温源，可接水和臭氧/氨气/H2S等气体；5路为加热源，加热温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。加热源配备耐高温手动阀，以及前驱体源瓶体积50cc。4. 前驱体管路所有前驱体管路须全部采用进口316L不锈钢EP级管路，所有管路加热温度RT-150℃可控。管路腔体清洗维护简便，设备须具有"自动清洗"的功能,要求用户在沉积前与沉积完成后运行""自动清洗"程序, 清洗管路, 保护ALD阀门。5.ALD阀每一路前驱体配置一个原子层沉积专用高速高温ALD阀，ALD阀加热温度RT-150℃可控。ALD阀门可快速拆换，需要维修时只需要在拆下阀门对应位置安装盲板，不影响设备正常使用。 6. 超快脉冲微波等离体源系统设备包括可快速更换的微波等离子体系统，可实现热式和等离子体增强模式的快速切换。系统包括200W微波电源，0~200W连续可调；同轴微波等离子体发生器；快速匹配器可以实现最低200ms的等离子体脉冲，即200ms内完成稳定启辉；配置3路等离子体气路，其中一路为氩气配置质量流量计0~20sccm可调，另外两路为气体脉冲输入口可任意切换气体。7．载气系统N2或者Ar，须配备质量流量计，流量控制0-100sccm或更高8．真空规爱德华宽范围真空规测量范围10E-4Torr~10E+3Torr。9．控制硬件采用PLC+PC控制系统，保证设备长时间稳定运行；硬件控制系统须具备1 毫秒前驱体脉冲时间的精确分辨控制能力，每一前驱体脉冲时间所对应的压强值必须能重复在同一个水平上，保证进入反应腔的前驱体的量精确可控。10．控制软件Windows下的专用全自动控制软件, 全自动控制加热、流量、等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控。全部沉积过程(从开始到结束，包括突发的停机)的参数实时全部记录，自动生成日志文件，都可以事后回放，每个脉冲曲线都可以显示回放11．真空机械泵系统采用Fomblin惰性泵油的机械泵系统，抽速1.5 L/s。12.验收指标Al2O3 均匀性 ≤+/？1%在4-6英寸晶圆上沉积100nm，取5个不同点（上、下、左、右、中心）进行测试，计算厚度标准偏差。测量方法：椭偏仪13．安装培训：厂家工程师现场进行安装与培训，包括操作，维护及安全使用等，确保人员熟练使用 |
| 售后服务 | 技术支持:7x24小时;售后服务:五年;服务响应时限:报修后8小时;质保期:一年;供货周期:签订合同后45个工作日内;培训要求:培训两次;是否含税:含税;一年免费保修，自验收之日起。提供完善的技术支持与售后服务，在接到用户报修通知后8小时内给予答复，48小时内能够到达现场提供服务。保修期外的维修只收成本费。; |
标签: 原子层沉积
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