品牌

SAWATEC

型号

SM-200

生产厂商

SAWATEC AG

产地信息

瑞士

技术规格及参数

1.1、涂胶机机柜采用电抛光不锈钢制成，玻璃前门可容易观察工艺过程，封闭操作环境，不泄漏有毒有害气体。
*1.2、设备配置关盖涂胶系统，此系统：1，可减小空气湍流；2，盖子和基片间距约5~10毫米，形成小的工艺空间，溶剂更容易饱和，降低挥发速度；3光刻胶风干速度变慢，自然比在大气中开盖涂胶的涂胶均匀性更好，还可节约光刻胶用量。
1.3、触摸屏操作，图形化界面，简单易用。
1.4、工艺参数至少可设定：速度，加速度，时间，工艺时间：最大7200秒，最小设定精度0.1秒。
1.5、支持50个工艺程序，每个程序24步，同种程序快速开始功能，声音信号提示工艺结束。
*1.6、电机旋转方向可选择（顺时针，或者逆时针）
电机旋转速度：0 –*****rpm，旋转精度 +/-1rpm
电机旋转加速度：0 – 6000rpm/sec。
1.7、动态滴胶手臂，可通过程序设定实现动态滴胶或者静态滴胶。
*1.8、涂胶方式：自动涂胶功能，采用胶泵或者针管滴胶系统，适用于多种粘度、多种型号的光刻胶涂覆。
1.9、自动去厚胶边系统。
1.10、喷嘴自动清洗功能。
*1.11、 2路自动滴胶系统（满足光刻胶粘度范围10…800cps）和1套针管滴胶系统。
1.12、配置2寸，3寸，4寸和6寸晶圆真空吸附夹具，带互锁保护。
*1.13、 6寸标准圆片涂胶均匀性±1%@500nm胶厚（厚胶边除外）。
1.14、基片对中工具。
*1.15、一套一次性工艺腔体保护套（80只）。

售后及质保要求

质保1年。为保证售后服务质量，我公司中标后提供制造厂家授权文件和售后服务承诺，提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，120小时内提供远程诊断和指导 ；我公司随附所投标的产品彩页。