近距离蒸发镀膜设备（XF-WSBX-2200392）成交结果公告

招 标 正 文
 

近距离蒸发镀膜设备（XF-WSBX-2200392）成交结果公告

项目名称近距离蒸发镀膜设备项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期166*****14000公告截止日期166*****00000
采购单位浙江大学付款方式货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7天到货时间要求成交后90天
预 算******.0
收货地址杭州市浙江大学紫金港校区材料大楼3楼023室
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
近距离蒸发镀膜系统1台机电设备
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算******.0
技术参数及配置要求1.工作电压：220V AC，50Hz2.总功率：10kW3.炉体结构和真空室：？ 双加热器，两个温度控制器，双通道浮子流量计，可向真空腔体中通入气体？ 真空腔体:不锈钢材质，带φ100mm侧观察窗？ 腔体尺寸:直径约325mm，高度约500mm？ 真空法兰由304不锈钢制成？ 法兰由双硅胶O形圈密封，可通过机械泵实现10E-2 Torr 的真空压力4.气体流量计：控制面板上安装两个浮子表，测量范围为:？ 16-160mL/m？ 400 - 4000 mL / m(用于清洗目的)5.加热器和样品架：？ 两组短波红外灯作为加热元件，用于快速加热。？ 两个加热器之间的距离可在10 - 50 mm之间调节？ 上下两板中间配备挡板？ 样品台可旋转，转速为0~30rpm？ 加热器由不锈钢制成，带有水冷夹套，可减少热辐射并实现快速冷却？ 6英寸圆形晶圆支架内置顶部加热器，可装载基板？ 包括一个高导热氮化铝板(6英寸直径×0.5mm厚)，它应放在基板的背面，使其均匀加热温度控制器？ 两个精密数字温度控制器，30段可编程，可独立控制顶部和底部加热器？ 每个控制器都具有PID自动调谐功能，以保护加热器免 受过冲和报警功能，以避免过热和热电偶断开？ 安装PC通信接口和软件记录温度曲线6.测温元件：？ 两个K型热电偶. ,安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触7.工作温度：每个加热器的最高温度:<=800°C 两个加热器之间的最大温差:<=300°C加热和冷却速度：？ 加热:<8°C / s (仅加热单个加热器)？ 冷却:<10°C / s8.开盖方式：？ 电动升降上盖9.付款方式: 合同签订后支付50%预付款，上门安装调试验收后7个工作日内支付剩余50%尾款
售后服务电话支持:7x24小时;质保期:1;服务时限:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/09/04/20L7MQ2VJGO1HUEB.shtml

标签: 蒸发镀膜

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