半导体参数分析仪测试系统（JJ22000586）成交结果公告

招 标 正 文
 

半导体参数分析仪测试系统（JJ22000586）成交结果公告

项目名称半导体参数分析仪测试系统项目编号JJ********
公告开始日期166*****85000公告截止日期166*****00000
采购单位东北大学付款方式预付30%货款余款货到验收合格后支付60%，余款作为质保金
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求无到货时间要求签约后3天
预 算******.0
收货地址广东省佛山市顺德区北滘镇南平路博智林机器人工厂实验室
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
半导体参数分析仪测试系统1台其他特种设备
品牌锐克天成
型号FS-Pro
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算******.0
技术参数及配置要求1、半导体参数分析仪主机： 1.1、半导体参数测试系统含嵌入式PC，Win10操作系统；1.2、不小于500G固态（SSD）硬盘，包含测试软件；1.3、测试软件为图形化操作界面；1.4、I-T测试的最快采样率为1M；1.5、*数据存储容量不小于******个点；1.6、*未来可扩展1/f noise噪声测试单元；1.7、*本底噪声：<2e-28A2/Hz；1.8、*测试频率范围： 1Hz-100KHz，偏置电压200V/1A；1.9、数量：12、SMU模块规格：2.1、可输出电压范围：不小于200V 2.2、*最大直流电流：1A，最大脉冲电流：3A2.3、*电流测量分辨率≤0.1fA2.4、*最大直流功率20W，最大脉冲功率不低于400W；2.5、具备脉冲测试能力，量程：±200V/3A；2.6、电流测量精度≤10pA；2.7、脉冲宽度≤50us；2.8、配备标准3轴测试线缆，长度不少于2m；2.9、数量：23、探针台台体规格：3.1、*包含显微镜重量：≥35KG；3.2、*尺寸：≤410mm长*515mm宽*550mm高；3.3、*真空卡盘直径不小于4”3.4、可以通过中心真空吸附孔和多圈真空吸附环固定样品，每个真空通道需独立控制；3.5、卡盘中心吸附孔直径不大于1mm，可以根据客户要求定制；3.6、卡盘需配备真空源不小于-250mmHg；3.7、*卡盘需采用同轴位移台X-Y范围不小于4” -4”，且每个轴都有一个锁定旋钮；3.8、*XY同轴载物台低重心厚度≤25mm ；3.9、*具备快速移动：≥25mm /转，方便快速找到目标物；3.10、具备精细定位，10微米以定位目标芯片；3.11、卡盘快速Z-移动：≥4mm；3.12、*卡盘Z微调6毫米，分辨率：≤1微米，使用不小于80 TPI高硬度不锈钢螺杆；3.13、*卡盘角度可旋转15？无间隙旋转，调节精度≤0.001；3.14、*配备光纤支架3.15、数量：1；4、显微镜规格：4.1、目镜：≥20X；4.2、变焦：≥0.8X？5X；4.3、*总倍率=目镜*变焦倍率：≥16X？100X；4.4、*需配备CCD 接口；4.5、数量：1；5、探针座规格：5.1、*分辨率：≤1微米；5.2、*使用不小于80 TPI高硬度不锈钢螺杆；5.3、*线性X-Y-Z 调节范围不小于12 mm，全轴无间隙旋转；5.4、*配备磁铁开/关底座，且磁铁厚度不大于12mm,吸力不小于5Kg；5.5、尺寸不大于52mmW x 96mmD x 76mmH；5.6、重量不小于550 g；5.7、数量：3个；6、探针接口夹具规格：6.1、采用自动夹钳探针；6.2、配备三同轴1.5米电缆和三同轴公连接器6.3、*配备倾斜角螺钉，销向下倾斜 45？；6.4、*配备三同轴母转三同轴母转接头；6.5、数量：3个；7、探针规格：7.1、针尖直径：≤5微米7.2、探针长度：≥20毫米7.3、10PC/BOX7.4、数量：1；8、真空泵规格：8.1、静音无油真空泵≥7 升/分钟；8.2、到达真空度:≥-33.3kPa（ -250mmHg）；8.3、数量：1；9、CCD相机：9.1、配备HDMI A型接口；9.2、像素不低于2百万像素；9.3、不小于1/2.8 英寸 彩色CCD；9.4、分辨率：≥1920*1080；9.5、FU HDMI不小于 60帧/秒；9.6、*配带HDMI视频线缆；9.7、数量：1；10、显示器规格：10.1、尺寸不小于21寸；10.2、分辨率：≥1920*1080；10.3、配备不少于HDMI，VGA等接口；10.4、数量：1；11、配备光学平台11.1、尺寸不小于1200mm*900mm*800mm；11.2、最大承载力：≥300Kg；11.3、重量不超过150Kg；11.4、平面度：≤ 0.10nm；11.5、粗糙度：≤ 1.6um；11.6、数量：1；
售后服务无

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/10/09/20L910DW3ET7A4RD.shtml

标签: 参数分析仪 测试系统 半导体

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