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清华大学台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统
采购项目中标公告
一项目名称：清华大学台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统采购项目
二招标编号：清设招第2022274号
三仪器名称：台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统
四品牌：Moorfield Nanotechnology
五规格型号：nanoETCH
六数量/单位：1套
七成交金额：人民币71.0万元
八项目用途和简要内容：
台式超精准二维材料等离子软刻蚀系统是专门为二维材料和薄膜材料的精准刻
蚀而研发的刻蚀设备,该设备起辉能量和稳定工作的能量都比较低，对二维材料器件
边缘物性的保护较好,该设备除了用于刻蚀，还可以用于样品和衬底的清洗样品面
面内点缺陷的制造等领域。
九中标供应商：
供应商 ： 大 13号 28号 1 28-3
招标 发 ：2022 920
一定标 :2022 1012
二标名单：currency1清fifl
采购人名称：清华大学
采购人 ： 清华大学， 编：100084
项目系人：系式：sbcwqtsinghua.edu.cn
为发 起1 工作 。 标商对 内容 ,
起7 工作 内 面 。
清华大学
采购 招标
2022 1012

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com