品牌

赛印仪器

型号

SY-B009

生产厂商

保定赛印科学仪器研发有限公司

产地信息

河北省

技术规格及参数

主要包含3个与主腔连接的VAT气动插板阀、3个蒸发源、3个旁抽真空腔及旁抽真空系统。出厂测试时，旁抽真空系统的本底真空优于2×10^(-9) Torr。主要参数如下:
水冷旁抽腔体，数量为3个。材质为不锈钢316L，内外表面机械抛光+电化学抛光处理，外层有水冷套；1个DN40CF法兰用于连接气动插板阀，1个DN40CF法兰用于连接蒸发源，1个DN40CF法兰用于连接手动插板阀，1个DN16CF法兰用于安装观察窗。
1个DN16CF观察窗。
1个低温蒸发源，温度范围是100 – 900 ℃，控温精度是±0.1 ℃；坩埚容量为9 cc，配有高精度数字PID反馈控制器，内置水冷套。
1个标准蒸发源，温度范围是300 – 1400 ℃，控温精度是±0.1 ℃；坩埚容量为9 cc，配有高精度数字PID反馈控制器，内置水冷套。
1个高温蒸发源，温度范围是500 – 1800 ℃，控温精度是±0.1 ℃；坩埚容量为9 cc，配有高精度数字PID反馈控制器。
1套旁抽真空系统，包含1台爱德华nEXT300分子泵、1台nXDS10iC涡旋干泵、1个宽量程复合冷规、真空腔体及管道。（如提供PLD框架图，可将旁抽管道等固定在框架上）
3个VAT的DN40CF手动阀和3个DN40CF气动阀。
1套真空管理/生长管理装置。配有触摸屏和电脑端的软件。可以控制3个蒸发源，3-5段温控；可以控制3个气动挡板；可以读取旁抽真空腔的真空；可以控制旁抽分子泵与干泵；可以控制与主腔连接的3个气动阀；可以设置带断点修改功能的生长程序。
1套工具与配件。
1套说明书

所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件

售后及质保要求

1 乙方对货物及其随机配件提供1 年的保修期，该保修期自货物验收合格之日起计算。乙方应在前述保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。在前述保修期内，如本合同项下的货物出现损坏和故障，则乙方应在接到甲方通知后72 小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。
2 在前述保修期届满后，乙方应为货物及其随机配件提供终身维修。前述保修期届满后，合同货物需要更换零部件的，乙方只收取零部件的成本费，不收人工服务费用。维修项目或维修部件或调换部分的保修期从维修完成或调换完成之日起顺延1 年。
3 如乙方未按上述约定，在收到甲方的通知后 40个工作日内维修或更换不符或有缺陷的货物或部件；则甲方有权采取必要的补救措施并追究乙方的违约责任，由此导致的责任和费用由乙方承担。
4 乙方同意给予甲方一年内免费搬迁已安装调试完毕的合同货物 1次、免费调试已安装调试完毕的本合同项下货物 1次、免费培训服务1 次。