高真空电子束复合热蒸发镀膜机(GY202205155)成交结果公告
高真空电子束复合热蒸发镀膜机(GY202205155)成交结果公告
项目名称 | 高真空电子束复合热蒸发镀膜机 | 项目编号 | GY********* |
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公告开始日期 | 166*****62000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
采购单位 | 山东大学 | 付款方式 | 100%预付 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后90个工作日内 | 到货时间要求 | 签订合同后90个工作日内 |
预 算 | ******.0 | ||
收货地址 | 山东大学青岛校区N5楼 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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高真空电子束复合热蒸发镀膜机 | 1 | 台 | 机电设备 |
品牌 | 微纳真空 |
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型号 | VZZS-550 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | ******.0 |
技术参数及配置要求 | 主要技术参数:1) 真空腔室:Φ550×H630mm; 2) ★真空极限:优于 3.0×10-5Pa; 3) ★抽速:分子泵完全启动,抽至 5.0×10 4) 基片台:标配平板抽屉式基片台,尺寸: 可装卡各规格的基片;基片台加热:室温~ 5) 蒸发源及电源:e 型电子枪一台,枪功率 2 组蒸发源,可蒸镀金属材料和有机材料; 6) 膜厚监控:采用薄膜沉积控制仪在线监 7) 离子源辅助沉积:采用考夫曼离子源清洗基片及辅助镀膜; 8) 控制方式:PLC 手自动控制,触摸屏操作;技术指标:1、真空腔室:SUS304 不锈钢,Φ550×H630mm,双层水冷,立式前开门结构; 真空室内表面及防污板抛光至镜面;2、真空系统:复合分子泵(抽速:1600 L/s)+直联旋片泵(抽速 14 L/s); “两低一高”数显复合真空计(测量范围:1×105 Pa~1×10-5Pa);3、真空极限:优于 3.0×10-5Pa;4、抽速:抽至 5.0×10-4Pa≤30min(分子泵完全启动);5、基片台:标配:平板式基片台 抽屉式结构,基片托尺寸:150×150mm,该范围内可装卡各种规格的基片; 样品台配有挡板,磁流体密封; 样品台旋转:旋转速度 0-25 转/分连续可调,磁流体密封,光控定位,设定在前门中 心位置方便取样; 基片台加热:采用真空专用加热器,PID 智能温控表,室温~300℃;6、电子束蒸发源及电源:e 型电子枪一支,枪功率 8KW;束偏转角 270 度; 配置一套偏转扫描电源,一套电子枪灯丝电源;7、热蒸发源及电源:2 组蒸发源,兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计,源间有隔板,源上有挡板; 1 台 2KW 蒸发电源,可采用恒流/恒功率控制,可以预设工作电流;8、离子源:采用考夫曼离子源清洗基片及辅助镀膜;9、速率和膜厚控制系统:采用 Inficon 薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚,1 只水冷探头; 膜厚仪速率显示分辨率±0.015ā/s,厚度显示分辨率±0.015kā;10、控制方式:PLC+触摸屏手自一体控制;报警及保护:对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执 行相应保护措施; 完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护; |
售后服务 | 服务网点:不限;质保期限:2年;响应期限:报修后4小时; |
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