品牌

九所科技

型号

JS-PECVD-Y12IIH-5QZ

生产厂商

天津市九所科技发展有限公司

产地信息

天津

技术规格及参数

额定功率（KW）：7.3；
额定电压(V)：220；
沉积系统：双温区加热炉热区长210mm*2,恒温区200mm；预加热炉热区长200mm，恒温区长度：100mm;
气路总成结构：定制侧开门结构；
炉膛材质：多晶莫来纤维；
最高温度(℃)：1200；
炉管最高工作温度(℃)：<1100；
程序控制：国产程序触摸屏控制；
控温精度(℃)：±1℃；
空炉升温时间(分钟)：<15；
石英管尺寸：φ50（壁厚4.5-4.8mm）；
加热元件：高电阻电热合金丝OCr27A17Mo2；
等离子电源：500W自动匹配，连接PLC；
自动真空控制系统：对于1Pa~0.1MPa（绝对压力）范围内的真空度稳定控制，高低压自动切换，控制精度1% ；
真空显示方式：电容薄膜真空计；
气体控制方式：质量流量计；
气路数量：五路（氩气200sccm,氮气1000sccm,氢气20sccm，氩气50sccm，氨气1000sccm）；
流量范围及标定：根据客户要求定制；
调零：自动；
精度：±1%F.S；
响应时间：≤ 2s；
过冲保护；
工作温度：5-45℃；
工作压力：进气压力0.05-0.3Mpa；
气柜管道：加装单向阀、定制混气室等；
真空系统：额定电压380V 采用18L机械泵PLC控制;
液体前驱体蒸发装置链接专用气路;
滑轨：自动;
尾气处理，采用非接触换热式冷阱和多重气体过滤装置;
配有管内测温校准设备以及反应腔内气流分布导流管.

售后及质保要求

提供制造商免费质保【1】年，维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【2】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【24】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。