【结果公示】大连理工大学GaN基MOCVD气路搭建及二次装机采购结果公示（项目编号：DUTCHT-2201416）
【结果公示】大连理工大学GaN基MOCVD气路搭建及二次装机采购结果公示（项目编号：DUTCHT-2201416）
1.项目名称：GaN基MOCVD气路搭建及二次装机
2.项目编号：DUTCHT-*******
3.成交单位：申集半导体科技（徐州）有限公司
4.成交金额:******.0CNY
5.公 示 期: 2022年10月27日至2022年10月31日
6.联系方式：
采购与招标管理办公室 邮箱：cgzbdlut@dlut.edu.cn
7.采购清单：
序号 | 产品名称 | 服务内容 | 数 量 | 单价(元) | 金额（元） |
1 | GaN基MOCVD二次装机（含保险） | 恢复并改造CS*****型MOCVD设备，使之可以制备氧化物半导体薄膜材料。反应室不同温区的温度差小于1摄氏度，改造有机管路适应氧气载气；改造加热丝实现高温环境的抗氧化效果，恢复后的设备设计要求可同时进行3片2英寸衬底的薄膜生长，达到氧化物薄膜材料2μm无裂痕，均匀性良好RMS不高于0.3nm。 | 1.0 | ******.0 | ******.0 |
大连理工大学
2022年10月26日
|
招标
|
- 关注我们可获得更多采购需求 |
关注 |
最近搜索
无
热门搜索
无
