序号

产品名称

服务内容

数 量

单价(元)

金额（元）

1

冷水机（TF-LS-2KW）设备恢复

全面除锈，保养水泵，恢复设备功能。

1.0

1000.0

1000.0

2

紫外可见近红外分光光度计设备恢复

紫外可见近红外分光光度计设备恢复

1.0

*****.0

*****.0

3

KrF准分子激光器恢复

KrF准分子激光器恢复

1.0

*****.0

*****.0

4

248纳米KrF脉冲准分子激光器恢复

恢复248纳米KrF脉冲准分子激光器

1.0

2000.0

2000.0

5

恢复电子束蒸发设备

搭建超高真空系统，恢复电子束蒸发设备

1.0

*****.0

*****.0

6

高温管式炉恢复

更换温控系统，订制石英管，恢复设备功能。

1.0

5100.0

5100.0

7

感应耦合等离子体刻蚀机恢复

搭建等离子体系统，恢复感应耦合等离子体刻蚀机，可完成对2英寸薄膜的刻蚀工艺。

1.0

*****.0

*****.0

8

低温闭循环制冷系统

修复冷却系统，补充液氦，恢复低温闭循环制冷系统。

1.0

*****.0

*****.0

9

高真空多功能磁控溅射镀膜设备恢复

修复水冷系统，恢复高真空多功能磁控溅射镀膜设备

1.0

*****.0

*****.0

10

精密研磨抛光机恢复

更换研磨盘装配固定架，恢复设备功能。

1.0

500.0

500.0

11

等离子体MOCVD-II装置——设备恢复

恢复等离子体MOCVD-II装置

1.0

*****.0

*****.0

12

氦质谱检漏仪

恢复氦质谱检漏仪设备

1.0

3000.0

3000.0

13

脉冲激光分子束外延设备修复

维修并恢复脉冲激光分子束外延设备

1.0

*****.0

*****.0

14

真空镀膜机（DM300B）

搭建系统，二次装机恢复真空镀膜机。

1.0

*****.0

*****.0

15

光学多道检测系统恢复

光学多道检测系统恢复

1.0

*****.0

*****.0

16

晶圆键合机设备恢复

修复冷却系统，恢复晶圆键合机设备。

1.0

*****.0

*****.0

17

精密划片机恢复

修复精密划片机编程系统、冷却系统，恢复精密划片机设备。

1.0

*****.0

*****.0

18

光刻机设备恢复

订制掩膜版，装配新光源，恢复设备。

1.0

3000.0

3000.0

19

低速外圆切割机

更换刀头，装配电控系统恢复设备功能。

1.0

500.0

500.0

20

MOCVD特气输运系统恢复

MOCVD特气输运系统恢复与搭建，可为氧化物MOCVD设备提供氧气与氮气气氛，安装尾气处理系统可处理MOCVD生长过程中的废气。

1.0

******.0

******.0

21

精密温控多段高温炉系统

恢复精密温控多段高温炉系统

1.0

1000.0

1000.0

22

霍尔测试仪设备恢复

修复受损磁体，恢复霍尔测试仪设备。

1.0

1*****.0

1*****.0

23

X射线衍射仪设备恢复

恢复X射线衍射仪设备

1.0

*****.0

*****.0

24

He-Cd 激光器

清理谐振腔修复电源，恢复He-Cd 激光器。

1.0

1000.0

1000.0