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清华大学颗粒度检测仪采购项目单一来源公示
一采购人：清华大学
二地址：北京市海淀区清华园
三联系方式：王琦sbcwqtsinghua.edu.cn
四项目名称：颗粒度检测仪采购项目
项目编号：清设招第2022390号
五采购内容：颗粒度检测仪
六采用单一来源采购方式原因及说明
清华大学微纳集成子平台是为科研提供保障的建设项目，拟建成为支撑集
成微系统研发研制的综合型实验室平台。
颗粒度检测仪可监控集成微系统研发研制过程中的颗粒引入情况，其核心
指标 晶 容， 度 0n ，颗粒 ： 9 3n
监测设 及验 核心 设 用，
因 颗粒度检测仪的采购currency1。
fi核心指标的fl ，内目 中科测科
公 的 00颗粒度检测仪合项目建设 ， 采用单一
来源采购方式采购。
currency1：
1.晶 ：8 ， 容6
2.晶 度：0.4-1.2mm
3.晶 型： 明 的 晶
晶 的晶
4.晶 大度：100m
5. 检测 度： 60nm
6.颗粒 ： 95%83nm
7.测 x ： 1%5000， 1/x 100% 5000
8.颗粒 ： 2% 0.3m， 5%0.3m
9.测颗粒 ： 1% 0.3m， 5%0.3m
10.
11. ：20x10m
12. 源： 可 ， 大 8W， 532nm，固态 器
13.探测方式：线扫描线探测
14.扫描模式：HT 速模式 /ST 标准模式 /HS 模式
15.照明方式：法 斜 线照明
16.检测 路系统
16.1探测器： 速线阵探测器
16.2 路：双通道线照明 路振照明 路线整形 路振探
测 路通道暗 集 路。
17.运动 台
17.1 运动平台：全晶 速扫描运动台
17.2 真吸附台：铝制 Chuck，真吸附气路。
18.传片系统
18.1 双臂自动拾取机械手 2个 6/8 容 Open Cassette平台
18.2 校准器：依据晶 Notch / Flat寻边， 整晶 Notch / Flat 心。
19.控制系统
19.1 电源控制系统：独立电源启动 停止按钮，2个 fi紧急制动按钮，
UPS应急供电系统 2KVA，220V
19.2 气路系统：压缩气 节与过滤系统，真 节与过滤系统
19.3 设 运状态监测系统：运动系统位反馈传感器管路气压监测传
感器晶 位检测传感器温湿度传感器及 PLC信号处理系统
19.4 用户可根据currency1设各级用户权
19.5 日志参 位 障报警 记录及软
19.6 菜单新建编辑修改删除
19.7 采用计算机控制，Windows操系统，内存 64GB，三硬盘，硬盘系
统 1TB 据 2TB 1TB，杀毒软 ，接口与MES系统通讯，
保期内软 免费升级更新。
20.平均无 障 MTBF 350 平均修 MTTR 8个

21.提供经过认证的83nm颗粒8 标准测试片1片， 及供应商制
的102nm155nm204nm498nm颗粒8 标准测试片各1片。
八供应商：中科测科公
地址：市龙华区观澜街道新澜社区观 路1301-14号101102
九征意见期从2022年11 7日 2022年11 10日止。
供应商 公示内容 的， 公示期 1个 日内 意
见( ：供应商名称联系人联系电 提供 采购项目的说明)
反馈 清华大学(联系人：王琦 62771946， ：sbcwqtsinghua.edu.cn)。

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com