MPCVD微波等离子体化学气相设备（A-WZBX0352）成交结果公告
MPCVD微波等离子体化学气相设备（A-WZBX0352）成交结果公告
| 项目名称 | MPCVD微波等离子体化学气相设备 | 项目编号 | A-WZBX0352 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****13000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
| 采购单位 | 厦门大学 | 付款方式 | 无 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 无 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 厦门大学翔安校区文宣楼 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| MPCVD微波等离子体化学气相沉积设备 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 整机功率:10kw，微波输出功率6kw2.本底真空:1pa3.真空漏率:<5x10-10 Pa*m3 /s；4.测温:红外测温，200-1200℃5.支持的工艺气体: 4路 H2 CH4 O2 N2， 扩展接口一路6.微波漏率:≤5mw/cm27.生长机台直径:52mm8.自动稳压范围0-500torr9.稳压波动:＜0.5torr10.底座升降: 有，精度≤0.1mm11.安全保护:含缺相保护，水流量、温度检测，跳球检测 |
| 售后服务 | 无 |
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