薄膜应力测试仪（ZBZXHB2022160）成交结果公告
薄膜应力测试仪（ZBZXHB2022160）成交结果公告
| 项目名称 | 薄膜应力测试仪 | 项目编号 | ZBZXHB******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****34000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
| 采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 请查看比选文件 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 成交后100个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 四川大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 薄膜应力测试仪 | 1 | 台 | 其他仪器 |
| 品牌 | - |
|---|---|
| 型号 | - |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 设备可测量3/4/5/6/8英寸晶圆，设备测量尺寸切换耗时＜10min，乙方需提供相应工具和配件；可测量不同基底上的薄膜应力（基底反射率＞2%）；可处理透明和非透明薄膜，包含SiO2、SiN、polymer薄膜、金属薄膜、Pattern wafer；手动加载晶圆，设备自动进行应力测试；温度控制范围：-65℃~500℃ 采用非接触光学原理，通过测量激光光斑在晶圆表面薄膜生长前后反射光的反射角变化，自动计算出晶圆表面的应力；可显示样品的2D或3D应力map图；设备可自动根据样品的反射率自动调节激光强度；样品台直径≥200mm；激光扫描器水平方向行程≥200mm；具有双激光光源，激光波长分别为650nm、780nm。设备可设置为双波段激光自动切换。测试应力范围：1MPa~4GPa；测试时间（一条直径）≤30s/pc测量精度<3%（使用标准Mirror测量曲率半径）；光源使用寿命：≥2年；测量重复性：≤2%（使用标准Mirror测量曲率半径10次，曲率半径标准差/平均值≤2%）； |
| 售后服务 | 电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;质保期为设备验收合格后1 年，质保期内出现质量问题，乙方须指派专人负责与丙方联系售后服务事宜。乙方在接到通知后 48小时内响应到场，在2 小时内完成维修或更换，并承担修理调换的费用；如货物经乙方 3次维修仍不能达到本合同约定的质量标准，丙方有权退货并追究乙方的违约责任。; |
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