半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪
半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪
采购单位：华南师范大学 | 联系人：采购用户 |
E-mail：*********@qq.com | 联系电话：0757-******** |
传真：无 | 联系手机：无 |
邮编：无 | 平台联系电话（异议）：020-********；jycg001@qq.com |
项目名称： 半导体科学技术研究院采购半导体学院采购真空等离子体处理仪 | 竞价编号：JJ221*****514196 |
采购类型：货物类 | 开始时间：2022-11-23 14:51:00 |
项目预算(元)：35,000.00 | 结束时间：2022-11-26 14:51:00 |
质保期及售后要求：验收后一年 | |
其他要求：无 |
| 资格及商务响应情况 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 项目 | 竞价要求 | 响应情况 | |||||
| 资格条件 | 提供原厂代理和售后授权书视为有效报价 | 响应 | |||||
| 付款方式 | 货到验收合同后20天内支付100%款项 | 响应 | |||||
| 交付时间 | 签订合同后10天送货 | 签订合同后10天送货。 | |||||
| 交付地址 | 华南师范大学南海校区行政楼 | ||||||
| 质保期及售后要求 | 验收后一年 | 响应 | |||||
| 其他要求： | 无 | 响应 | |||||
| 报价情况 | |||||||
| 标的名称 | 品牌/型号 | 数量 | 响应情况 | 单价（元/%） | |||
| 真空等离子体处理仪 | 善准科技VP-S5 | 1.00 | 善准科技VP-S5 | *****.000元 | |||
| 总报价 | *****.00元 | ||||||
| 技术响应 | |||||||
| 标的名称 | 技术要求 | 响应情况 | |||||
| 真空等离子体处理仪 | 1、腔体材质：不锈钢2、*腔体容量（mm）：Φ150x2703、*射频电源功率：300W4、*射频频率：40KHz5、频率偏移量：小于0.2KHz6、等离子体轰击：从上往下7、*腔体内温度：＜50℃ @180秒8、清洗时间：0- 800S 可调9、*功率调节：连续可调10、显示屏：4.3英寸触摸屏11、*操作控制：提供中英文操作界面，触摸屏控制12、气体流量计：高精密2路浮子流量计13、提供两路进气通路：流量 0-300ml/min可调（常用气体：氩气，氧气，氮气，氢气，其他混合气体）14、进气管：两路，Φ615、泄压：清洗完成自动泄压，泄压时长可调。可提供氮气或其他气体泄压通道16、噪音：≤56dB17、抽真空时间：启动到发出辉光≤45秒18、*真空检测：触摸屏上有一键真空检测功能，数字显示19、冷却方式：风冷20、腔体门：传感器识别开/关，带可视窗高强度铝合金21、*真空泵控制：主机与真空泵联动，可在主机触摸屏控制真空泵开启/关闭22、供电电源：AC220V/50Hz23、箱体平衡：减震橡胶脚杯24、外形尺寸LxWxH ：不大于560x450x360mm25、需提供原厂家授权书26、配置：主机（VP-S5）、真空泵(VRD-4)、1.5米波纹管、清洗托盘、说明书、合格证、保修卡；外接气管2根 | 响应 | |||||
| 附件 |
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