反应离子刻蚀机（JLU-KC22228）成交结果公告
反应离子刻蚀机（JLU-KC22228）成交结果公告
| 项目名称 | 反应离子刻蚀机 | 项目编号 | JLU-KC***** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****49000 | 公告截止日期 | 166*****00000 |
| 采购单位 | 吉林大学 | 付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 国内合同签订后20个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 吉林大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 反应离子刻蚀机 | 1 | 台 | 其他仪器 |
| 品牌 | 中科泰龙 |
|---|---|
| 型号 | RIE-150 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 样片台1.1 4英寸样品台 2. 反应腔室2.1 6061 铝材一体化加工，表面阳极氧化处理3. 射频电源及匹配器3.1 自动匹配器，13.56MHz，500W，国产4. 下电极4.1 自主设计4.2 6061铝材及高纯陶瓷5. 压力控制5.1 电动高真空阀门，位置可预设6. 真空系统6.1 分子泵6.2 机械泵6.3 本底真空优于 2x10-2Pa6.4 真空测量：进口工艺规及大气压力开关7. 温控系统7.1循环水冷8. 气路系统8.1 4路进气9.操作界面9.1 触摸屏操作，菜单自动/手动操作10. 安全控制10.1 异常报警 |
| 售后服务 | 无 |
标签: 刻蚀
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