快速退火炉（XF-WSBX-2200584）成交结果公告

招 标 正 文
 

快速退火炉（XF-WSBX-2200584）成交结果公告

项目名称快速退火炉项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期166*****31000公告截止日期166*****00000
采购单位浙江大学付款方式货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后2天到货时间要求成交后120天
预 算******.0
收货地址浙大紫金港校区海纳苑8幢物理学系112
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
快速退火炉1台其他特种设备
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算******.0
技术参数及配置要求1．基本原理：镜面反射炉膛内部结构为高精度镜面曲面，镜面曲面抛光后镀金，红外光反射性能增加并抑制衰减。红外光来源于密封在石英腔中的高能流密度红外灯管，经镀金的镜面反射后聚焦到样品。2．温度范围：RT-1200℃；3．温控方式/精度：PID程序控制，定点控温精度±0.5℃；4．最大升温速率：150 ℃/s （真空）（提供相关证明）；5．降温速率：双石墨盘 130℃/min;（裸片 600℃/min）；6．测试气氛：真空、氮气、氩气、氧气、氢氦混合气体；7．样品尺寸：4英寸（100mm）；8．温场均匀性：≤ 1%(载台)/≤1.5%(裸硅片）出具TC-wafer验证报告及数据图谱；9．温度传感器：标准K型热电偶；10．MFC空气气体回路：四路（氮气、氩气、氧气、氢氦混合气体）；11．衬底冷却方式：氮气吹扫；12．处理材料类型：薄膜、粉体、块体、液体；13．相同工艺下同一晶圆的位置，温差不超过 2℃；出具TC-wafer重复性报告及图谱，至少10个位置。14．采用知名品牌部件：循环水路设计，带过滤部件，延长清洗炉体水路；红外灯管寿命高达5000小时，峰值波长约为1.25微米，炉体工艺镜面抛光；15．快速控温：高能流密度红外灯设计，8秒内仪器可快速升温至1200℃；同时，炉体的热容小，配合先进的冷却系统，可实现快速降温；16．可加载光学、电学测试模块，拓展测试薄膜材料 的相变温度、及结晶动力学的研究等 (提供相关证明材料)，可加载泽贝克系数与电导率测试模块17．洁净控温：非电阻炉加热，无绝热保温材料，更适合在洁净环境中使用；；
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

信息来源：https://www.yuncaitong.cn/publish/2022/11/29/20LB1X8YBF6B78CW.shtml

标签: 退火炉

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