PECVD系统竞价项目
PECVD系统竞价项目
| 项目号 | HW********** | ||||||||||||||||||
| 设备品目类别 | 仪器设备 | 设备用途 | 教学 | ||||||||||||||||
| 竞价开始时间 | 2022-11-24 10:22:42 | 竞价结束时间 | 2022-11-28 10:22:00 | ||||||||||||||||
| 商品名称 | PECVD系统 | 品牌/厂家 | 合肥科晶 | ||||||||||||||||
| 型号 | OTF-1200X-II-50-4CLV-PE（带滑轨） | 数量 | 1 | ||||||||||||||||
| 计量单位 | 台 | 成交单价 | ******.00元 | ||||||||||||||||
| 成交供应商 | 广州丁克科学仪器有限公司 | 保修年限 | 2年 | ||||||||||||||||
| 技术指标 | 炉管：50 O.D*44 I.D*1860mm 双温区滑轨式，☆加热区长度总共445mm，50段可编程控温仪表，单独控制的加热区；等离子发射源：输出功率: 5 -500W±1% 射频频率: 12 MHz反射功率:最大200W 冷却:风冷；真空泵机组：KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.管内真空可达10E-2 Torr ，进口防腐真空计，☆蓝牙控制电源；BaZrO3坩埚70*100mm:4个，炉管4根。☆6平方电源线15米，50A空开1个，铂铑热电偶校准3次,GENTEC减压阀 | ||||||||||||||||||
| 安装及售后要求 | 负责上门安装调试 | ||||||||||||||||||
| 附件 | 无 | ||||||||||||||||||
标签: PECVD
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