等离子体增强化学气相沉积设备（ZBZXJJ20220851）成交结果公告
等离子体增强化学气相沉积设备（ZBZXJJ20220851）成交结果公告
| 项目名称 | 等离子体增强化学气相沉积设备 | 项目编号 | ZBZXJJ******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 166*****30000 | 公告截止日期 | 167*****00000 |
| 采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 进口设备：甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后，将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户，项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后，按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。国产设备：甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项，乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 成交后30个工作日内 |
| 预 算 | ******.0 | ||
| 收货地址 | 四川大学机械工程学院 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 等离子体增强化学气相沉积设备 | 1 | 台 | 分离类 |
| 品牌 | 创世威纳 |
|---|---|
| 型号 | PECVD-601 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | ******.0 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 腔体尺寸：Φ350mm*H300mm，真空不锈钢制作，上盖自动开闭。2. 极限真空度：≤9*10-5Pa； 3. 系统漏率：5*10-7Pa.l/s； 4. 静态升压：系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa5. 系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气抽至5*10-3Pa时间小于15min，至9*10-4Pa≤30min。6. 射频阴极尺寸（最大样品尺寸）：Φ200mm。7. 样片数量及尺寸：Φ6英寸，1片8. 薄膜不均匀性：≤±3%-±6%9. 电源配置：射频13.56MHz，600W，自动匹配10. 工艺气路：4路，质量流量控制器控制；气路接口（危险气体VCR，其他卡套）11. 包含自动压力控制系统12. 沉积距离自动调节范围：20mm-60mm，调节精度：1mm13. 工作台加热温度：300℃。PID自动测温、控温，多段控温模式，控温精度±1%14. 控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式。15. 包含安全报警系统。 |
| 售后服务 | 服务年限:24月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
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