真空磁控溅射设备结果公告
真空磁控溅射设备结果公告
| 成交供应商： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 选择理由： | 总价最低，推荐成交 |
| 质疑投诉说明： | 如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至招标与采购中心，逾期不予受理。 |
| 项目名称 | 真空磁控溅射设备 | 项目编号 | TYLGJJCG2022-0305 |
| 项目编号 | TYLGJJCG2022-0305 | ||
| 公告发布日期 | 2022/12/05 16:31 | 报价截止时间 | 2022/12/08 16:31 |
| 报价截止时间 | 2022/12/08 16:31 | ||
| 采购单位 | 太原理工大学 | 付款条款 | 合同签订后预付合同金额的80%，货到验收合格后一次性支付剩余款项。 |
| 付款条款 | 合同签订后预付合同金额的80%，货到验收合格后一次性支付剩余款项。 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 采购预算 | ￥198,000.00 | 成交金额 | ￥197,000.00 |
| 成交金额 | ￥197,000.00 | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起90日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 太原市万柏林区迎泽西大街79号 | ||
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | 分项报价 | |
| 真空磁控溅射设备 | 否 | 套 | 1 | 1）所有仪器到达用户指定地点后，技术工程师在接到用户安装调试要求10个工作日内上门免费安装、调试。； 2）质保期为仪器安装验收合格后1年，质保期内，所有服务及配件全部免费； 3）制造商应终身负责维护维修。在用户提出维修要求5个工作日内到达现场，及时帮助客户解决问题，并免费对软件进行升级； 4）供货商免费提供现场培训，同时应提供2名（每台套）厂家培训中心免费培训名额。 | ￥197,000.00 | |
| 品牌及型号 | 华析 （HC-300）泰科诺（JCP350） | |||||
| 技术参数要求 | 1.真空磁控溅射设备主要由真空腔室、磁控溅射靶、电源、基片台、真空系统、气路系统、PLC+触摸屏半自动控制系统等组成。2.真空腔室：1）结构：采用立式、圆柱体、气缸助力上翻盖结构；2）材质及尺寸：采用SUS304优质不锈钢，Ф350×H350mm真空腔室；顶板焊水线；3）腔室底部：2英寸圆形平面靶均匀分布；进气电磁截止阀；充气阀；4）腔室顶部：旋转基片台；及自动翻盖机构；5）侧部：DN150主抽气口；前方配有一套观察窗及挡板接口；6）旋转共溅射基片台接口位于镀膜室的顶部；7）预留接口：装膜厚仪以及其它用途；8）Φ100mm观察窗及挡板，位于前面；9）腔室防污屏蔽板采用优质不锈钢材质，便于拆卸清理、更换等。3.基片台：抽屉式结构，基片台尺寸Φ120mm，最大样品尺寸小于Φ120mm：配有气动基片台挡板；配备通用夹具，方便用户装卡各种不同规格尺寸的基片；绝缘装置：绝缘设计及绝缘件；基片台电机驱动：旋转转速0～20转/分钟，连续可调；主轴磁流体密封；加热：基片台环境温度800℃，采用铠装加热器及绝缘、屏蔽等；采用固态继电器和PID可编程智能温度控制仪方式，实现加热温度自动控制。4.溅射靶及电源：2只2英寸磁控溅射靶，靶角度、靶基距手动可调，永磁间接水冷方式，兼容直流、脉冲、射频等电源；靶基距调整范围80～110mm，方便调整最佳镀膜距离；直流脉冲溅射电源1kW，数字化控制及显示，1台；射频电源RF500W， 数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1kV，数字化控制及显示，1台。5.真空系统：复合分子泵：JTFB-600，抽速600L/s；直联高速旋片式真空泵：TRP-24，抽速6L/s，合资品牌，抽速快，低噪音；前级/旁路阀：DN40，气动挡板阀；真空测量：“两低一高”数显复合真空计。6.工作气路系统：质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；N2，20sccm；电磁截止阀：Φ6mm；混气管：三进一出。7.气路系统：电接点压力表，用于气体压力保护报警；气排，用于各阀门之间分气使用。8.电气控制系统：1）采用PLC+触摸屏控制系统，可实现自动一键式抽真空；2）控制内容：机械泵、前级阀的开与关；分子泵显示及开关控制；真空计参数显示及控制；基片台转速控制等；3）安全保护报警系统：在缺水、水压过低情况下的报警系统；完善的逻辑程序互锁保护系统。9.含低噪音Ⅰ型空压机一台；含冷却循环水机一台。10.机架控制柜：机架和控制柜一体化设计，碳钢制作，底下配脚轮，方便移动、定位。 | |||||
| 成交供应商： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 选择理由： | 总价最低，推荐成交 |
| 质疑投诉说明： | 如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至招标与采购中心，逾期不予受理。 |
| 项目名称 | 真空磁控溅射设备 | 项目编号 | TYLGJJCG2022-0305 |
| 项目编号 | TYLGJJCG2022-0305 | ||
| 公告发布日期 | 2022/12/05 16:31 | 报价截止时间 | 2022/12/08 16:31 |
| 报价截止时间 | 2022/12/08 16:31 | ||
| 采购单位 | 太原理工大学 | 付款条款 | 合同签订后预付合同金额的80%，货到验收合格后一次性支付剩余款项。 |
| 付款条款 | 合同签订后预付合同金额的80%，货到验收合格后一次性支付剩余款项。 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 采购预算 | ￥198,000.00 | 成交金额 | ￥197,000.00 |
| 成交金额 | ￥197,000.00 | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同生效之日起90日内 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 太原市万柏林区迎泽西大街79号 | ||
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | 分项报价 | |
| 真空磁控溅射设备 | 否 | 套 | 1 | 1）所有仪器到达用户指定地点后，技术工程师在接到用户安装调试要求10个工作日内上门免费安装、调试。； 2）质保期为仪器安装验收合格后1年，质保期内，所有服务及配件全部免费； 3）制造商应终身负责维护维修。在用户提出维修要求5个工作日内到达现场，及时帮助客户解决问题，并免费对软件进行升级； 4）供货商免费提供现场培训，同时应提供2名（每台套）厂家培训中心免费培训名额。 | ￥197,000.00 | |
| 品牌及型号 | 华析 （HC-300）泰科诺（JCP350） | |||||
| 技术参数要求 | 1.真空磁控溅射设备主要由真空腔室、磁控溅射靶、电源、基片台、真空系统、气路系统、PLC+触摸屏半自动控制系统等组成。2.真空腔室：1）结构：采用立式、圆柱体、气缸助力上翻盖结构；2）材质及尺寸：采用SUS304优质不锈钢，Ф350×H350mm真空腔室；顶板焊水线；3）腔室底部：2英寸圆形平面靶均匀分布；进气电磁截止阀；充气阀；4）腔室顶部：旋转基片台；及自动翻盖机构；5）侧部：DN150主抽气口；前方配有一套观察窗及挡板接口；6）旋转共溅射基片台接口位于镀膜室的顶部；7）预留接口：装膜厚仪以及其它用途；8）Φ100mm观察窗及挡板，位于前面；9）腔室防污屏蔽板采用优质不锈钢材质，便于拆卸清理、更换等。3.基片台：抽屉式结构，基片台尺寸Φ120mm，最大样品尺寸小于Φ120mm：配有气动基片台挡板；配备通用夹具，方便用户装卡各种不同规格尺寸的基片；绝缘装置：绝缘设计及绝缘件；基片台电机驱动：旋转转速0～20转/分钟，连续可调；主轴磁流体密封；加热：基片台环境温度800℃，采用铠装加热器及绝缘、屏蔽等；采用固态继电器和PID可编程智能温度控制仪方式，实现加热温度自动控制。4.溅射靶及电源：2只2英寸磁控溅射靶，靶角度、靶基距手动可调，永磁间接水冷方式，兼容直流、脉冲、射频等电源；靶基距调整范围80～110mm，方便调整最佳镀膜距离；直流脉冲溅射电源1kW，数字化控制及显示，1台；射频电源RF500W， 数字化控制及显示，1台；脉冲偏压电源：-1kV，数字化控制及显示，1台。5.真空系统：复合分子泵：JTFB-600，抽速600L/s；直联高速旋片式真空泵：TRP-24，抽速6L/s，合资品牌，抽速快，低噪音；前级/旁路阀：DN40，气动挡板阀；真空测量：“两低一高”数显复合真空计。6.工作气路系统：质量流量控制器及量程范围：Ar，100sccm；N2，20sccm；电磁截止阀：Φ6mm；混气管：三进一出。7.气路系统：电接点压力表，用于气体压力保护报警；气排，用于各阀门之间分气使用。8.电气控制系统：1）采用PLC+触摸屏控制系统，可实现自动一键式抽真空；2）控制内容：机械泵、前级阀的开与关；分子泵显示及开关控制；真空计参数显示及控制；基片台转速控制等；3）安全保护报警系统：在缺水、水压过低情况下的报警系统；完善的逻辑程序互锁保护系统。9.含低噪音Ⅰ型空压机一台；含冷却循环水机一台。10.机架控制柜：机架和控制柜一体化设计，碳钢制作，底下配脚轮，方便移动、定位。 | |||||
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