光谱椭偏仪(BX202200090)成交结果公告
光谱椭偏仪(BX202200090)成交结果公告
项目名称 | 光谱椭偏仪 | 项目编号 | BX********* |
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公告开始日期 | 166*****29000 | 公告截止日期 | 167*****00000 |
采购单位 | 北京师范大学 | 付款方式 | 无 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 无 |
预 算 | 无 | ||
收货地址 | 无 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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光谱椭偏仪 | 2 | 套 | 其他特种设备 |
品牌 | 无 |
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型号 | 无 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 无 |
技术参数及配置要求 | 一、仪器功能用途:可一次测量Psi/Delta,NCS等椭偏信息,快速无损,精准测量,主要用于各种各向同性/各向异性微纳薄膜的几何厚度以及材料光学特性信息提取。二、主要技术要求:1.测量能力:一次性获取Psi/Delta, NCS信息以及薄膜nkd信息等2.光谱范围:400-1000nm,覆盖可见光到近红外波段3.光谱分辨率:<0.4nm@400-1000nm,CCD采集波长间隔4.测量参数:Psi:0-90°,Delta:-90-270°,360度无死角5.单点测量时间:不超过15s 6.光斑尺寸:1-4mm 7.调制技术:旋转补偿器PCrSA调制技术8.光强调节方式:针对不同样件自动适应调制采集光强积分时间9.膜厚重复精度:优于0.005nm (100nm SiO2硅片,30次重复测量)10.样品台:支持0-10mmZ向找焦,俯仰可调,支持样件尺寸到Ф200mm11.褪偏修正能力:支持半峰宽、厚度不均匀、光散射等褪偏偏差优化修正12.分析软件:必须支持周期性纳米光栅结构数据建模分析,获取顶宽、底宽、线高、周期、倾斜角、等结构参数信息;数百种的光学材料常数数据库,并支持用户自定义光学材料库;具备折射率梯度分布Grade建模,光学各向异性Anisotropic建模仿真与分析功能;13.支持windows,不少于5个授权软件许可14.测控分析电脑: CPU:Intel ≥双核心处理器,RAM:≥4G,ROM:≥500G,显示器:≥19寸, windows操作系统15.附件清单:整体集成机架一套;起偏臂、检偏臂各一件;可调样品台一套;光学自准仪一套;数据分析软件一套;标定用硅片一套;测控分析计算机一台;光路调试用工具一套。配套组件及耗材:光学自对准装置2套(提供偏振光探测偏振光学水平角调平以及辅助光路对光对准,软件可外置或集成到椭偏标准软件中);无油静音真空泵2套(提供样件负压吸附固定测量,样件承载台改装+加装气路管线);耗材寿命3500h贺利式光源2套(含人工上门更换差旅所有开支);设备校准以及标定硅片2片。 |
售后服务 | 无 |
标签: 光谱
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