清华大学粉末原子层气相沉积采购项目成交结果公告一、项目名称：清华大学粉末原子层气相沉积采购项目二、招标编号：清设招第*******号三、品牌：韫茂科技四、规格型号：GM100五、项目用途和简要内容：ALD粉末气相沉积属于气相沉积技术的一种，其特点为：将气相前驱体脉冲交替通入反应室 , 在基板上发生化学反应形成薄膜，具有自限性和自饱和性，由于其特殊的成膜机制使其生成的薄膜具有以下特征：精度极高：通过一层层原子不断饱和性生长，使 ALD真正的实现纳米级控制包覆层厚度；成膜质量好：前驱体于基材之间的反应通过化学化学吸附保证包覆层具有极强的附着力；保形性好ALD生成的包覆层可在三维结构的复杂材料实现保形均匀的生长；无孔覆盖：由于特殊的反应机制，使其生成的包覆层真正实现无孔，非常适合用于表面钝化以及高质量的阻隔层。ALD 技术已被广泛应用于半导体，光伏，新能源、医疗等领域。六、数量/单位：1台七、成交供应商：厦门韫茂科技有限公司
地址：厦门集美兑英南路 255号八、成交金额：人民币975,000元九、成交日期:2022年12月16日十、公示开始发布日期：2022年12月20日十一、谈判委员会名单：汪长安、岳振星、干科（前述专家均为自选专家）采购人名称：清华大学采购人地址：北京市海淀区清华大学，邮编：******项目联系人：王琦联系方式：sbcwq@tsinghua.edu.cn本公告期限为自发布之日起1个工作日。对本公告内容有异议的,请在本公告期限届满之日起的7个工作日内书面提出。清华大学实验室管理处采购与招标办公室2022年12月20日