高真空多靶磁控溅射镀膜机(GY202210711)自购结果公示
高真空多靶磁控溅射镀膜机(GY202210711)自购结果公示
供应商: | 北京泰科诺科技有限公司 |
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中标金额: | ****** |
公示开始日期 | 2022-12-24 | 公示截止日期 | 2022-12-25 11:33:56 |
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采购单位 | 晶体材料研究所 | 付款方式 | 预付款30%,货到验收合格后付清尾款 |
签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
收货地址 | 山东大学中心校区功能晶体材料楼二楼超净间 |
采购物品 | 采购数量 | 计量单位 |
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高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 1 | 台 |
品牌 | 泰科诺 | 规格型号 | JCP500 |
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技术参数 | 1.真空腔室,Ф500×H420mm,304 优质不锈钢,前开门结构;2.真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真空阀门组合高真空系统,数显复合真空计;3.真空极限:6.0×10-5Pa(设备空载抽真空24 小时内);4.漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;设备保压停泵12 小时候后,真空≤10Pa;5.抽速(空载)从大气抽至5.0×10-3Pa≤20min;6.样品工装尺寸大盘约Φ400mm,可摆放Φ12mm,高20mm 石英棒约30 支;7.样品架旋转速度公转速度:0~5 转/分钟,自转速度以实际设计为准;8.溅射靶配置2支2英寸永磁共焦磁控溅射靶,腔室左右两侧各1支,与样品同一高度;磁控靶RF、MF、DC兼容,可以溅射磁性材料,磁控靶配有气动挡板结构;9.工作方式采用磁控靶从侧面溅射镀膜;10.控制方式PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;11.报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统;14.占地(主机)L1900×W800×H1900(mm);15.含2英寸,厚度为2mm的纯金靶材一件。 | ||
售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后48小时; |
资产与实验室管理部
2022-12-24
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